[实用新型]一种微焦斑光源参数测量透镜及测量系统

权利要求书

1.一种微焦斑光源参数测量系统，其特征在于，包括：

X射线聚焦镜，设置于待测量的X射线光源之后，并使所述X射线在其中进行单次全反射；

X射线探测器，设置于所述X射线聚焦镜之后，配置有用于调节器件同轴的多维度调节架；所述X射线探测器用于探测经所述X射线聚焦镜全反射的X射线的能量；

光束阻挡器，设置于所述X射线探测器之前，用于阻挡通过所述X射线聚焦镜的直通光；

数据处理器，与所述X射线探测器连接，用于获取所述X射线探测器的测量数据，并结合测量系统的基础参数数据，调用预设的参数计算公式，计算得到微焦斑光源参数。

2.根据权利要求1所述的微焦斑光源参数测量系统，其中：

所述光束阻挡器，设置于所述X射线聚焦镜之后，所述X射线探测器之前；或者，

所述光束阻挡器，设置于所述X射线聚焦镜之前，所述X射线光源之后。

3.根据权利要求2所述的微焦斑光源参数测量系统，其特征在于，该系统还包括：

存储器，与所述处理器连接，用于存储测量数据、以及所述微焦斑光源的参数；

显示器，与所述处理器和存储器连接，用于显示数据和人机交互操作。

4.根据权利要求1至3任一项所述的微焦斑光源参数测量系统，其特征在于，该系统为便携式设备，该设备还包括外壳，该外壳开设有：

接收端开口，开设于所述外壳前端，用于嵌接所述X射线聚焦镜，所述X射线聚焦镜的入口端紧贴所述外壳前端外壁；

探测器卡槽，开设于所述外壳后端，用于卡接所述X射线探测器；

阻挡器卡槽，开设于所述外壳底部，靠近所述X射线探测器，用于卡接所述光束阻挡器；

其中，所述接收端开口至所述探测器卡槽之间形成射线接收室；所述X射线聚焦镜的出口紧贴所述射线接收室的前端。

5.根据权利要求4所述的微焦斑光源参数测量系统，其中：

所述外壳由可阻挡X射线辐射的铅制材料制成；和/或，

所述射线接收室的长度设置可使反射线与直通射线在光路上分开；和/或，

所述光束阻挡器卡槽设置于所述射线接收室后端，以阻挡直通光；和/或，

所述探测器卡槽为活动式卡槽，根据所述X射线探测器的探头面积可调节。

6.根据权利要求5所述的微焦斑光源参数测量系统，其中：

所述射线接收室的长度为20cm，高为2cm；和/或，

所述光束阻挡器的长度为1.2～1.5cm；所述光束阻挡器卡槽距所述射线接收室前端15cm；和/或，

所述探测器卡槽活动的范围为2cm～10cm；所述X射线探测器与所述X射线光源同轴且二者相距大于10cm。

7.根据权利要求4所述的微焦斑光源参数测量系统，其中，所述X射线聚焦镜的入口到所述微焦斑光源铍窗的距离F的最小值F_m，为：

上述公式中，L为所述X射线聚焦镜的长度，ID为所述X射线聚焦镜的入口直径，OD为所述X射线聚焦镜的出口直径，S为所述X射线聚焦镜的倾斜角。

8.根据权利要求7所述的微焦斑光源参数测量系统，其中：

所述微焦斑光源参数包括微焦斑光源的光源焦深D和焦斑尺寸Z，所述处理器根据获取的测量参数，调用预设的参数计算公式计算得到微焦斑光源的光源焦深D和焦斑尺寸Z；

该参数计算公式为：

其中，ρ为反射面物质的密度，Es为可聚焦的最大能量的X射线的能量，C为修正系数。

9.一种微焦斑光源参数测量透镜，其特征在于，该测量透镜用于根据权利要求1至8任一项所述的微焦斑光源参数测量系统，所述测量透镜为一种斜率一定的锥形单玻璃毛细管。

10.根据权利要求9所述的微焦斑光源参数测量透镜，其特征在于：

X射线聚焦镜的斜率设置的数值范围为：0.05mrad到0.5mrad；和/或

X射线聚焦镜的长度范围为：5cm到10cm；和/或

X射线聚焦镜的出、入口直径范围为：300μm到1000μm；和/或

其中，拉制锥形单玻璃毛细管X射线聚焦镜的过程中，通过激光测距仪检测聚焦镜外形，实时调整拉制过程以使其面型误差控制在1μrad以下。