[实用新型]静电扫描微镜

权利要求书

1.一种静电扫描微镜，其特征在于：包括上部的微镜本体和下方的键合底板（13），微镜本体包括边框（1）和镜面（2），边框（1）背面固定在键合底板（13）上；所述镜面（2）上下两端分别连接有连接部（4），并通过转轴（3）与边框（1）连接；所述连接部（4）的外侧加工有动齿，边框（1）内侧与动齿相对的位置上加工有静齿。

2.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述键合底板（13）上制作有金属平板电极（15），平板电极（15）位于镜面（2）中轴线的一侧；所述边框（1）上加工有通孔（14），外部导线通过通孔内的金属连接平板电极（15）。

3.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述键合底板（13）中部与镜面（2）正对的位置加工为凹槽。

4.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述连接部（4）由上部的U型结构和下部的方形结构组成，方形结构与镜面（2）连接；转轴（3）一端连接边框（1）的内侧，另一端连接连接部（4）的U型结构的底部。

5.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述边框（1）被多个隔离槽（5）分隔为左侧驱动部（1-1）、中间偏转部（1-2）和右侧反馈部（1-3），所述转轴（3）与偏转部（1-2）连接；驱动部（1-1）的静齿与连接部（4）的动齿组成驱动梳齿组（6），反馈部（1-3）的静齿与连接部（4）的动齿组成反馈梳齿组（7）。

6.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述边框（1）上加工有两个半包围的偏转隔离槽（11），内部为偏转部（1-2），偏转部（1-2）连接转轴（3）；偏转隔离槽（11）外加工有反馈隔离槽（12），偏转隔离槽（11）和反馈隔离槽（12）之间为反馈部（1-3），反馈隔离槽（12）外部为驱动部（1-1）；所述反馈隔离槽（12）的端部将连接部（4）侧边的梳齿组分为上下两部分，位于反馈部（1-3）上远离镜面（2）的静齿与对应的动齿组成反馈梳齿组（7），驱动部（1-1）内侧的静齿和对应的动齿组成驱动梳齿组（6）。

7.根据权利要求5或6所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述驱动部（1-1）表面加工有第一电极（8），用于和外部驱动装置连接；偏转部（1-2）表面加工有第二电极（9）；反馈部（1-3）表面加工有第三电极（10），用于与外部测试装置连接。

8.根据权利要求1所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述连接部（4）加工为镂空结构；所述动齿和静齿为梯形或者三角形；所述镜面（2）形状为方形、圆形或者椭圆形。

9.根据权利要求7所述的静电扫描微镜，其特征在于：所述第一电极（8）、第二电极（9）和第三电极（10）分别具有一大一小双电极，小电极用于探针检测芯片，大电极用于最终封装引线键合。