[实用新型]三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构

权利要求书

1.三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构，包括串联结构本体(1)，其特征在于：所述串联结构本体(1)的一端设置有主串联管(2)，所述主串联管(2)的中间位置设置有第一波纹管(3)，且主串联管(2)的一端设置有三通节(4)，所述三通节(4)的两侧分别设置有第一支管(5)和第二支管(6)，所述第一支管(5)和第二支管(6)的中间位置设置有第二波纹管(7)，所述第一波纹管(3)和第二波纹管(7)的一端设置有连接块(8)，所述连接块(8)的一端设置有安装块(9)，所述安装块(9)的外部设置有安装槽(10)，所述安装槽(10)的内表壁设置有内螺纹(11)，所述安装块(9)的外表壁设置有与内螺纹(11)相匹配的外螺纹(12)，所述主串联管(2)、第一支管(5)和第二支管(6)的一端设置有连接柱(13)，所述三通节(4)的内表壁设置有滑道(14)，所述滑道(14)的内部设置有滑块(15)。

2.根据权利要求1所述的三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构，其特征在于：所述三通节(4)的外表壁设置有螺栓(16)，所述螺栓(16)的外部且位于滑道(14)的内部开设有螺栓槽(17)。

3.根据权利要求1所述的三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构，其特征在于：所述第一支管(5)和第二支管(6)的外表壁分别安装有第一开关阀(18)和第二开关阀(19)，所述第一开关阀(18)和第二开关阀(19)的形状为T字形。

4.根据权利要求1所述的三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构，其特征在于：所述第二波纹管(7)的数量为两组，所述第一波纹管(3)的尺寸大小大于第二波纹管(7)的尺寸大小。

5.根据权利要求1所述的三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构，其特征在于：所述连接块(8)的数量为若干组，所述安装块(9)、安装槽(10)、内螺纹(11)和外螺纹(12)的数量与连接块(8)的数量相匹配，所述连接块(8)、安装块(9)、安装槽(10)、内螺纹(11)和外螺纹(12)分别对称设置在第一波纹管(3)与第二波纹管(7)的两端。

6.根据权利要求1所述的三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构，其特征在于：所述连接柱(13)的形状为圆柱结构，所述连接柱(13)的数量为三组，所述滑道(14)和滑块(15)的数量与连接柱(13)的数量相匹配，所述滑道(14)和滑块(15)分别对称设置在连接柱(13)的两侧。

7.根据权利要求1所述的三叶气体循环冷却罗茨真空泵多级串联结构，其特征在于：所述主串联管(2)、第一支管(5)和第二支管(6)的形状为圆柱结构，所述主串联管(2)、第一支管(5)和第二支管(6)的外表壁均涂有氟碳漆。