[实用新型]一种肖特基势垒二极管的钝化结构有效
| 申请号： | 202020150531.X | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN211088281U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 徐婷;董文俊;刘芬 | 申请（专利权）人： | 扬州国宇电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/417 | 分类号： | H01L29/417;H01L21/329;H01L29/872 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 黄启兵 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 肖特基势垒二极管 钝化 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种肖特基势垒二极管的钝化结构，其特征在于：包括第一金属层、钝化层、第二金属层，所述第一金属层设置于二极管的势垒层上方并与所述势垒层接触，所述钝化层设置于所述二极管的氧化层上方，所述钝化层覆盖第一金属层侧面，所述钝化层还延伸覆盖第一金属层上表面周缘，所述第二金属层设置于第一金属层上方，所述第二金属层覆盖第一金属层上表面以及位于第一金属层上方的部分钝化层。
2.根据权利要求1所述的钝化结构，其特征在于：所述第一金属层厚度为0.1-2μm。
3.根据权利要求2所述的钝化结构，其特征在于：所述钝化层沿第一金属层上表面向内延伸至少5μm。
4.根据权利要求1所述的钝化结构，其特征在于：所述第一金属层为双层金属，与势垒层接触的下层金属层材质为钛，与第二金属层接触的上层金属层材质为铝。
5.根据权利要求1所述的钝化结构，其特征在于：所述第二金属层为三层金属，与第一金属层接触的下层金属层材质为钛，中层金属层材质为镍，上层金属层材质为铝或银。
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