[实用新型]管体和泵装置

说明书

本实用新型提供一种管体和泵装置。使管体的寿命提高。该管体被使用于供液构件，是能够利用加压而变形的空心的管体，其中，所述管体的轴向截面具有彼此相对的两个长边部和彼此相对的两个短边部，各所述长边部与各所述短边部所形成的、4个角部分具有向外侧凸出地弯曲而成的形状，各所述长边部具有与所述角部分连续的向内侧凹陷而成的凹部，各所述短边部的除了所述角部分以外的部分是平坦形状。

技术领域

本实用新型涉及一种管体和泵装置。

背景技术

在专利文献1中公开有一种化学溶液供给装置，该化学溶液供给装置的特征在于，该化学溶液供给装置具有：挠性管，其由弹性材料料形成，在径向上弹性膨胀收缩自如；供给侧流路，其连接于所述挠性管的一端部与化学溶液收容部之间，并设置有供给侧开闭阀；喷出侧流路，其连接于所述挠性管的另一端部与化学溶液喷出部之间，并设置有喷出侧开闭阀；波纹管，其具有由弹性构件形成的小型波纹管部和由弹性构件形成的大型波纹管部，该大型波纹管部轴向上的每单位位移量的容积变化比该小型波纹管部在轴向上的每单位位移量的容积变化大，并且，该波纹管配置于所述挠性管的外侧且在轴向上弹性变形自如；非压缩性介质，其被封入到所述挠性管与所述波纹管之间；以及驱动部件，其使所述波纹管在轴向上弹性变形而使所述小型波纹管部收缩且使所述大型波纹管部膨胀，另一方面，使所述小型波纹管部膨胀且使所述大型波纹管部收缩来使所述挠性管在径向上弹性变形。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-61558号公报

实用新型内容

实用新型要解决的问题

本实用新型的技术使管体的寿命提高。

用于解决问题的方案

本实用新型的一技术方案是管体，其是被使用于供液构件的供液构件用管体，是能够利用加压而变形的空心的管体，所述管体的轴向截面具有彼此相对的两个长边部和彼此相对的两个短边部，各所述长边部与各所述短边部所形成的、4个角部分具有向外侧凸出地弯曲而成的形状，各所述长边部具有与所述角部分连续的向内侧凹陷而成的凹部，各所述短边部的除了所述角部分以外的部分是平坦形状。

对于上述管体，也可以是，所述长边部的凹部具有平坦部。

对于上述管体，也可以是，所述长边部的凹部具有向内侧凸出的弯曲形状部。

对于上述管体，也可以是，所述长边部的凹部的至少中央是比所述管体的其他部分的壁厚厚的壁厚。

对于上述管体，也可以是，所述长边部的凹部的直线长度是所述长边部的长度的20％～60％。

对于上述管体，也可以是，所述长边部的凹部的直线长度是各所述短边部的平坦形状的部分的长度的100％～140％。

对于上述管体，也可以是，所述长边部的长度是各所述长边部的各凹部彼此间的距离的150％～190％。

本实用新型的另一技术方案是泵装置，该泵装置在上述管体的外侧以隔开空间的方式具有外侧管体，通过向所述空间内供给气体，从而将所述管体内的液体进行供液，通过抽吸所述空间内的气氛，从而向所述管体内补充供液对象的液体。

实用新型的效果

根据本实用新型，能够使管体的寿命提高。

附图说明

图1是示意性地表示采用实施方式的管体，并装入到处理液供给系统的抗蚀剂涂敷装置的结构的概略的纵剖视图。

图2是表示适用到图1的抗蚀剂涂敷装置的抗蚀剂液供给装置的系统的概略的说明图。

图3是使用到图2的抗蚀剂液供给装置的泵装置的侧视图。