[实用新型]静电吸附装置和贴合装置有效
| 申请号： | 202020154428.2 | 申请日： | 2020-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN211890876U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 徐绍宸;李富海;鲍晓亮;蒉张涛;魏继江 | 申请（专利权）人： | 吸力奇迹（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;C23C14/35;C23C14/08;B32B15/20;B32B15/04;B32B9/00;B32B9/04;B32B17/06;B32B27/28;B32B27/06;B32B33/00;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300480 天津市滨海新区滨海天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静电 吸附 装置 贴合 | ||
1.一种静电吸附装置，其特征在于，包括：
底板；
设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；以及
设置在所述电极层表面的接触层，用于与被吸附物品接触并防止静电击穿；
其中，所述接触层采用一体成型且表面平整的玻璃材质。
2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述接触层的材质包括以下材料中的一种或多种组合：高硼硅玻璃和钢化玻璃。
3.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述接触层的厚度包括0.3mm-1mm。
4.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述接触层的与所述电极层贴合的表面以及与所述被吸附物品接触的表面的粗糙度都不大于Ra0.025。
5.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述电极层的与所述接触层贴合的表面中未被电极结构覆盖的区域为喷砂处理的粗糙表面。
6.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述接触层和所述电极层之间通过贴合胶粘合。
7.根据权利要求6所述的静电吸附装置，其特征在于，所述贴合胶中包括荧光指示剂。
8.一种制备如权利要求1所述的静电吸附装置的贴合装置，其特征在于，包括：
贴合平台，用于承载所述底板以及设置在所述底板表面的所述电极层；
夹具，构造为夹持采用玻璃材质的所述接触层，其中，所述夹具包括用于稳定夹持所述接触层的范德华力吸盘；
导轨机构，包括与所述贴合平台垂直设置的直线导轨，以及设置在所述直线导轨中的滑块，其中，所述夹具与所述滑块固定连接；以及
驱动机构，构造为驱动所述滑块在所述直线导轨中运动，以使得所述接触层靠近所述贴合平台。
9.根据权利要求8所述的贴合装置，其特征在于，所述范德华力吸盘包括缓冲结构。
10.根据权利要求9所述的贴合装置，其特征在于，所述缓冲结构包括海绵层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吸力奇迹（天津）科技有限公司，未经吸力奇迹（天津）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020154428.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：静电吸附装置
- 下一篇：静电吸附装置和贴合装置
