[实用新型]静电吸附装置和贴合装置

说明书

本实用新型实施例提供了一种静电吸附装置和贴合装置，解决了现有静电吸附装置对于较难通过电场感应产生极化强度的被吸附物品的静电吸附效果差的问题。该静电吸附装置包括：底板；设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；以及设置在所述电极层表面的接触层，用于与被吸附物品接触并防止静电击穿；其中，所述接触层采用表面平整的聚甲基丙烯酸甲酯材质。

技术领域

本实用新型涉及静电吸附技术领域，具体涉及一种静电吸附装置和贴合装置。

背景技术

静电吸附装置是一种利用电场感应产生静电，从而吸附被吸附物体的工业元件。然而在实际的工业生产过程中，有一些被吸附物体自身较难通过电场感应产生静电，因此如何提高这类较难通过电场感应产生极化强度的被吸附物品的静电吸附效果一直是本领域亟需解决的难题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种静电吸附装置，解决了现有静电吸附装置对于较难通过电场感应产生极化强度的被吸附物品的静电吸附效果差的问题。

根据本申请的一个方面，本实用新型一实施例提供的一种静电吸附装置包括：底板；设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；以及设置在所述电极层表面的接触层，用于与被吸附物品接触并防止静电击穿；其中，所述接触层采用表面平整的聚甲基丙烯酸甲酯材质。

在本实用新型一实施例中，所述接触层的厚度包括0.3mm-1mm。

在本实用新型一实施例中，所述电极层的与所述接触层贴合的表面为喷砂处理的粗糙表面。

在本实用新型一实施例中，所述接触层和所述电极层之间通过贴合胶粘合，其中，所述贴合胶填充于所述电极层的与所述接触层贴合的表面中未被电极结构覆盖的区域。

在本实用新型一实施例中，所述贴合胶中包括荧光指示剂。

在本实用新型一实施例中，所述接触层采用热压接加工方式压接在所述电极层表面。

在本实用新型一实施例中，所述热压接加工的热贴合压力包括200公斤～400公斤。

在本实用新型一实施例中，所述热压接加工的加热温度为150℃，加热时间为30分钟。

根据本申请的另一个方面，本实用新型一实施例提供的一种制备如前所述的静电吸附装置的贴合装置包括：贴合平台，用于承载所述底板以及设置在所述底板表面的所述电极层；夹具机构，构造为夹持采用聚甲基丙烯酸甲酯材质的所述接触层，其中，所述夹具机构包括用于稳定夹持所述接触层的范德华力吸盘和实心压头，其中所述范德华力吸盘和所述实心压头之间可拆卸替换；导轨机构，包括与所述贴合平台垂直设置的直线导轨，以及设置在所述直线导轨中的滑块，其中，所述夹具机构与所述滑块固定连接；以及第一驱动机构，构造为驱动所述滑块在所述直线导轨中运动，以使得所述接触层靠近所述贴合平台并施加5公斤～10公斤的压力；加热装置，构造为对所述贴合平台进行加热；以及第二驱动机构，构造为驱动所述滑块向所述贴合平台施加200公斤～400公斤的压力。

在本实用新型一实施例中，所述范德华力吸盘包括缓冲结构。

在本实用新型一实施例中，所述缓冲结构包括海绵层。

本实用新型实施例提供的一种静电吸附装置和贴合装置，接触层采用表面平整的聚甲基丙烯酸甲酯材质，聚甲基丙烯酸甲酯由于具备较多的极性官能团，因此具备良好的感应静电和表面带电的能力，从而使得难吸附物体表面能够通过接触带电，实现电荷之间的相互吸引，因此聚甲基丙烯酸甲酯适用于作为接触带电-传导型静电吸盘的接触层材料，可有效能够解决较难感应产生静电的被吸附物品的静电吸附问题。由此可见，通过使用聚甲基丙烯酸甲酯材质的接触层，可在保证了接触层的平整度和光洁度的同时，使得接触层表面的畸变电荷较多，耐压较高，因此能够吸附难以通过电场感应带电的物体。

附图说明