[实用新型]平面度测量装置

权利要求书

1.一种平面度测量装置，其特征在于，所述平面度测量装置包括机台、承载模组、相机标定模组、激光打点模组、移动模组及电控模组，

所述承载模组设置于所述机台上且用于承载待测元件，

所述相机标定模组及所述激光打点模组均通过所述移动模组连接在所述机台上，且使得所述承载模组位于所述机台与所述相机标定模组之间，以及使得所述承载模组也位于所述机台与所述激光打点模组之间，

所述电控模组电连接所述相机标定模组、所述激光打点模组，所述相机标定模组用于对所述待测元件进行相机标定并输出所述待测元件的定位数据至所述电控模组，所述电控模组用于依据所述待测元件的定位数据控制所述移动模组带动所述激光打点模组移动并发射激光打点信号至所述待测元件的表面，所述激光打点模组还用于接收在所述待测元件的表面的反射的所述激光打点信号反射信号并输出对应的高度反馈数据至所述电控模组，所述电控模组还用于依据所述高度反馈数据计算并输出所述待测元件的表面的平面度。

2.如权利要求1所述的平面度测量装置，其特征在于，所述平面度测量装置还包括显示模组，所述显示模组电连接所述电控模组，所述显示模组用于接收所述电控模组输出的所述待测元件的表面的平面度并进行显示；所述平面度测量装置还包括连接组件，所述显示模组通过所述连接组件连接所述移动模组。

3.如权利要求1所述的平面度测量装置，其特征在于，所述承载模组包括垂直于所述机台表面的两个相互平行相对设置的支撑板、穿过所述两个支撑板且与所述两个支撑板枢接的第一驱动轴、及连接所述第一驱动轴的第一驱动组件，所述第一驱动轴用于承载所述待测元件并在所述第一驱动组件的驱动下转动以带动所述待测元件移动。

4.如权利要求3所述的平面度测量装置，其特征在于，所述承载模组还包括设置于所述机台表面且位于所述两个支撑板之间的支撑块，所述支撑块用于与所述第一驱动轴共同支撑所述待测元件。

5.如权利要求3所述的平面度测量装置，其特征在于，所述承载模组还包括邻近所述第一驱动轴设置的第一传感器，所述第一传感器电连接所述电控模组，所述第一传感器用于感测是否有待测元件放置于所述第一驱动轴上并在有待测元件设置的时候发出第一侦测信号至所述电控模组，所述电控模组还电连接所述第一驱动组件，所述电控模组还用于依据所述第一侦测信号控制所述第一驱动组件驱动所述第一驱动轴转动以带动所述待测元件移动。

6.如权利要求3所述的平面度测量装置，其特征在于，所述承载模组还包括设置于所述机台表面且位于所述两个支撑板之间的可伸缩阻挡块及邻近所述可伸缩阻挡块的第二传感器，所述第二传感器及所述可伸缩阻挡块均电连接所述电控模组，所述第二传感器用于侦测所述待测元件是否移动到预设测量位置，并在所述待测元件移动到预设测量位置时发出第二侦测信号至所述电控模组，所述电控模组用于依据所述第二侦测信号控制所述可伸缩阻挡块伸出以在所述待测元件移动到预设测量位置时阻止所述待测元件移动及控制所述第一驱动组件停止驱动所述第一驱动轴。

7.如权利要求3所述的平面度测量装置，其特征在于，所述承载模组还包括穿过所述两个支撑板且与所述两个支撑板枢接的第二驱动轴、连接所述第二驱动轴且位于所述支撑板远离另一支撑板一侧的第二驱动组件，所述第二驱动轴用于承载所述待测元件，且所述第二驱动组件用于驱动所述第二驱动轴及所述另一支撑板朝向所述支撑板运动以调整所述两个支撑板之间的距离。

8.如权利要求7所述的平面度测量装置，其特征在于，所述机台上还设置有滑轨，所述另一支撑板邻近所述机台表面一侧还设置有滑块，所述滑块用于与所述滑轨滑动配合，所述第二驱动轴邻近所述支撑板的端部具有外螺纹，所述第二驱动组件包括设置在所述支撑板上且具有螺纹孔的螺纹部及连接所述螺纹部的扳手，所述螺纹部与所述端部的外螺纹配合，所述扳手用于供用户操作以沿驱动所述第二驱动轴沿轴向运动，进而带动所述另一支撑板沿所述滑轨运动。