[实用新型]一种隔热冷却装置

说明书

一种隔热冷却装置，包括密封接头、排气管以及冷凝瓶；所述排气管的一端与炉管尾排管连接，排气管的另一端设置冷凝瓶；所述炉管尾排管为炉体的排气出口，保证炉内高温气体的流通性；所述密封接头，一个设置于排气管和炉管尾排管之间；另一个设置于排气管与冷凝瓶之间；本实用新型的密封圈和密封环不与热气流冲刷的通气管直接接触，所以密封圈和密封环在工作时的温度更低，能够有效延长密封圈和密封环的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及热传导领域，特别是涉及一种隔热冷却装置。

背景技术

在半导体等光伏产品制造的过程中，往往离不开高温烘烤的环节，比如扩散炉、氧化炉、退火炉等等都是在内部高温的环境下进行工作的，这就要求炉体需要有比较好的保温性能。但是在完成工艺后，对炉体的快速的冷却同样也是需要解决的技术问题。目前，往往都是采用抽排高温气体的方式，对炉体内进行降温的处理。但是当炉内压力低时，气体的流量小，尾排的温度不高；当炉内气体要力高时，气体流量大，尾排的温度会过高，甚至可能会超过尾排连接处密封圈的允许温度，影响密封圈的使用寿命。这样一来就需要频繁的更换密封部件，或者设置外部风扇给密封部件进一步降温。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种隔热冷却装置，结构简单，使用方便。

一种隔热冷却装置，包括密封接头、排气管以及冷凝瓶；所述排气管的一端与炉管尾排管连接，排气管的另一端设置冷凝瓶；所述炉管尾排管为炉体的排气出口，保证炉内高温气体的流通性；所述密封接头，一个设置于排气管和炉管尾排管之间；另一个设置于排气管与冷凝瓶之间。

进一步的，所述排气管包括隔热管和通气管；所述隔热管设置于通气管的外周，隔热管的一端与通气管连接。

进一步的，所述冷凝瓶包括瓶体、冷凝瓶进口、冷凝瓶出口以及冷凝瓶隔板；所述冷凝瓶进口和冷凝瓶出口分别设置于瓶体的两端；所述冷凝瓶隔板设置于冷凝瓶进口和冷凝瓶出口之间，冷凝瓶隔板与瓶体的内壁固定连接。

进一步的，所述密封接头包括连接环、密封圈、密封环以及固定环；所述连接头设置于排气管和炉管尾排管之间以及排气管与冷凝瓶进口之间；所述密封圈、密封环设置于连接环与排气管之间、连接环与炉管尾排管之间以及连接环与冷凝瓶进口之间；固定环设置于连接环的两端。

进一步的，所述连接环整体呈管状，连接环外壁的中间部位设置向外凸起的环状块一，连接环内壁的中间部位设置向内凸起的环状块二；连接环内壁的两端设置有圆形镂空一，镂空的方向与连接环中轴线的方向平行；所述密封环和密封圈设置于连接环两端的镂空内。

进一步的，所述固定环包括封闭圆盖和压紧环侧；所述封闭圆盖呈圆形，封闭圆盖上设置圆形镂空二；所述压紧环侧呈管状，压紧环侧垂直设置于封闭圆盖上。

进一步的，所述圆形镂空二设置于封闭圆盖的圆心部位。

进一步的，所述隔热管共两个，两个隔热管平行设置于通气管的外周，两个隔热管之间留有设定的距离。两个隔热管互相靠近的一端与通气管之间通过弧形面连接。

进一步的，所述冷凝瓶隔板共三块，三块冷凝瓶隔板平行设置，其中位于中间的冷凝瓶隔板在瓶体的设置部位与第一块冷凝瓶隔板在瓶体的设置部位围绕瓶体的中轴线间隔设定角度；位于中间的冷凝瓶隔板在瓶体的设置部位与第三块冷凝瓶隔板在瓶体的设置部位围绕瓶体的中轴线也间隔设定角度。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的密封圈和密封环不与热气流冲刷的通气管直接接触，所以密封圈和密封环在工作时的温度更低，能够有效延长密封圈和密封环的使用寿命；

本实用新型通过设置密封圈和密封环保证了密封连接的可靠性；

本实用新型通过设置多道冷凝板，使热气流得到充分的冷凝。

附图说明