[实用新型]一种激光同轴离子激发装置

权利要求书

1.一种激光同轴离子激发装置，包括光路中心和离子传输通道，其特征在于：光路中心为空，光路中心与离子传输通道同轴，离子传输通道垂直于基质载体,激光聚焦光斑为非均匀性聚焦，光路包含激光传输光路、视觉监视光路、视觉照明光路、光强监视光路。

2.根据权利要求1所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：激光传输光路包含物镜、全反镜、折返镜、扩束镜、激光器；视觉监视光路包含激光透射镜、光源分光镜、透镜组,视觉监视光路与激光器形成共轭；视觉照明光路包含视觉光源、激光透射镜、光源分光镜,视觉照明光路与激光器形成共轭；光强监视光路包含光敏传感器；离子传输通道包含变曲面离子透镜、离子滤网、离子检测装置。

3.根据权利要求2所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：物镜为中空结构，中空部分作为离子传输通道，物镜垂直于基质载体设置。

4.根据权利要求2所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：全反镜为中空结构，中空部分为离子传输通道，其余部分为反射镜。

5.根据权利要求2所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：折返镜为全反镜，其具有中心反射面和环形反射面，中心反射面将中心光源反射至环形反射面，环形反射面将激光沿入射光同轴反射，形成中心为空的环形激光传输通道。

6.根据权利要求5所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：折返镜为中心有孔或全透区域，激光通过孔未经反射可直接到达光敏传感器，监视或测量激光强度。

7.根据权利要求2所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：视觉光源与激光器波长相异，同步监视基质载体的状态，亦可用于激光激发聚焦调整。

8.根据权利要求2所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：全反镜为用于定焦点离子激发的单个中空全反镜或用于线扫描或面扫描离子激发的中空扫描镜组，其中，中空扫描镜组包含一个中空扫描镜或两个中空扫描镜。

9.根据权利要求2所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：扩束镜与折返镜之间增加调焦透镜组，调焦透镜组与视觉监视装置联动来调整激光光束聚焦位置。

10.根据权利要求1所述的激光同轴离子激发装置，其特征在于：激光聚焦光斑能量由中心向四周非均匀聚焦，聚焦光斑大小为10μm至500μm。