[实用新型]等离子体处理装置

说明书

本实用新型提供了等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体、真空泵，箱体由隔板隔成上下两层，上层腔室内安装等离子设备主体，下层腔室内安装真空泵，且下层腔室内至少一面上安装散热机构，包括传热片、导热柱及散热板，传热片位于下层腔室内，导热柱一端穿过腔室壁与传热片固定，另端固定散热板，散热板包括弧形本体及分布在弧形本体上的散热片，本等离子体处理装置改进结构，在下层腔室内安装散热机构用于散热，省却了风扇或水冷装置，通过传热片配合导热柱将下层腔室内热量传导出来，进而利用散热板进行散热，并改进散热板结构，采用弧形本体配合散热片的结构，扩大散热面积，提高散热效率。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理技术领域，尤其涉及等离子体处理装置。

背景技术

等离子处理装置工作原理：对气体施加足够的能量使其离化成等离子状态，进而处理工件样品，实现清洁等目的，市面上等离子处理装置一般利用真空泵抽取清洗腔内气体，维持一定真空度，部分型号中，真空泵与等离子设备主体为一体式安装，真空泵工作时产生的热量易积存在安装腔室内，一般通过安装风机或水冷管进行散热，风机使用较简单，但提高了能耗，水冷管的安装也较简单，但需外来水源接入，使用不够方便，因此需另寻途径改进。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供等离子体处理装置，以解决上述问题。

本实用新型的技术方案是：

等离子体处理装置，包括箱体、等离子设备主体、真空泵，箱体由隔板隔成上下两层，上层腔室内安装等离子设备主体，下层腔室内安装真空泵，且下层腔室内至少一面上安装散热机构，包括传热片、导热柱及散热板，传热片位于下层腔室内，导热柱一端穿过腔室壁与传热片固定，另端固定散热板，散热板包括弧形本体及分布在弧形本体上的散热片。

本等离子体处理装置改进结构，在下层腔室内安装散热机构用于散热，省却了风扇或水冷装置，通过传热片配合导热柱将下层腔室内热量传导出来，进而利用散热板进行散热，并改进散热板结构，采用弧形本体配合散热片的结构，扩大散热面积，提高散热效率。

进一步，还包括对流筒，固定在箱体壁上，散热板另端位于对流筒内，散热板加热对流筒内空气，热空气上升导致筒内气压低，外部空气自筒底开口进入，形成对流散热，进一步提高散热效率。

进一步，对流筒内下部位置的散热板数量多于上对流筒内上部的散热板，下部空气加热快，受热气体上升，对流筒底部外部空气涌入，加强对流效应。

进一步，对流筒为半筒体，两侧延伸形成侧板，侧板与箱体壁螺栓固定，便于安装。

进一步，下层腔室内壁上设消音层，包括顶面和底面的多孔板以及填充在二者之间的阻燃消音棉，下层腔室增设消音层，降低真空泵产生的噪音，提高工作环境的舒适度。

进一步，传热片上设多个嵌孔，导热柱端部固定在嵌孔内，便于安装，同时为便于真空泵及散热机构，下层腔室正面开门。

进一步，箱壁上开孔，孔内壁设隔热层，导热柱穿过孔与传热片固定，避免箱壁与导热柱直接接触，进而导致局部高温损坏箱壁的现象发生。

附图说明

图1：实施例1中本实用新型的整体结构图；

图2：A部放大结构图；

图中：1、箱体；2、处理腔室；3、密封门；4、控制屏；5、真空泵；6、散热机构；7、消音层；61、传热片；62、导热柱；63、散热板；631、本体；632、散热片。

具体实施方式

以下结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步详述，以使本实用新型技术方案更易于理解和掌握。

实施例1