[实用新型]真空等离子设备

权利要求书

1.真空等离子设备，包括等离子设备主体及真空泵，真空泵位于等离子设备主体所在的第一箱体外，其特征在于，还包括第二箱体，真空泵位于第二箱体内，第二箱体一面上固定第一连接圈，第一箱体至少两面上固定第二连接圈，第一连接圈与第二连接圈通过螺栓固定，真空泵进气口处设连接管，连接管另端与等离子体设备主体的腔室内连通，第二箱体内铺设有消音层。

2.根据权利要求1所述的真空等离子设备，其特征在于，第二箱体相邻两面上开孔，连接管自其一孔穿过，另一孔以螺纹盖密封。

3.根据权利要求2所述的真空等离子设备，其特征在于，还包括消音筒，消音筒与固定在第二箱体顶面上的连接端螺纹啮合连接。

4.根据权利要求3所述的真空等离子设备，其特征在于，消音筒包括筒体，筒体中心线上径向，呈辐射状固定消音板，筒体内周壁上铺设消音层。

5.根据权利要求1或3所述的真空等离子设备，其特征在于，消音层包括顶面和底面的多孔板以及填充在二者之间的消音棉。

6.根据权利要求1所述的真空等离子设备，其特征在于，连接管为软管。