[实用新型]一种射频离子源启动灯丝装置

权利要求书

1.一种射频离子源启动灯丝装置，其特征是：包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板；

所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上，整体再安装在下法兰盖板上；压紧螺栓将上法兰盖板和上法兰绝缘压板安装在下法兰盖板上，通过拧紧压紧螺栓压紧第一真空密封圈、第二真空密封圈、第三真空密封圈实现真空密封；绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上；

其中，启动灯丝装置采用钼棒作为正极，钼座作为负极。

2.根据权利要求1所述的一种射频离子源启动灯丝装置，其特征是：正极采用直径2mm金属钼棒，负极采用内径4mm、外径10mm、高度8mm、外侧为螺纹结构的钼座。

3.根据权利要求1所述的一种射频离子源启动灯丝装置，其特征是：启动灯丝装置中钼棒与钼座法兰之间存在间隙。

4.根据权利要求1所述的一种射频离子源启动灯丝装置，其特征是：所述第一真空密封圈位于上法兰绝缘压板和钼座法兰之间；所述第二真空密封圈位于钼座法兰和下法兰绝缘压板之间；所述第三真空密封圈位于下法兰绝缘压板和下法兰盖板之间。

5.根据权利要求1所述的一种射频离子源启动灯丝装置，其特征是：钼棒与下法兰盖板之间采用绝缘陶瓷进行隔离电位，绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上。

6.根据权利要求1所述的一种射频离子源启动灯丝装置，其特征是：冷却水管通过银铜焊接在下法兰盖板。