[实用新型]一种改进型微环谐振滤波器

权利要求书

1.一种改进型微环谐振滤波器，包括衬底(1)，其特征在于，所述衬底(1)一侧表面的两端分别设有输入直波导(3)和输出直波导(4)，所述输出直波导(4)和输入直波导(3)之间呈互相平行的状态，所述输出直波导(4)和输入直波导(3)的中部之间设有三个微环谐振腔(2)，所述微环谐振腔(2)呈圆环状，所述微环谐振腔(2)等距分布在衬底(1)的表面，靠近所述输入直波导(3)的微环谐振腔(2)与输入直波导(3)之间形成第一耦合区域(5)，靠近所述输出直波导(4)的微环谐振腔(2)与输出直波导(4)之间形成第二耦合区域(6)，相邻的所述微环谐振腔(2)之间形成第三耦合区域(7)，所述衬底(1)外侧的侧边后部开设有第一通孔(8)，所述第一通孔(8)贯穿衬底(1)两侧的侧边，且所述第一通孔(8)与衬底(1)的端部相平齐，所述微环谐振腔(2)外部四周所对应衬底(1)上开设有第二通孔(9)，所述第二通孔(9)的下端与对应的第一通孔(8)的相连通。

2.根据权利要求1所述的一种改进型微环谐振滤波器，其特征在于，所述输入直波导(3)和输出直波导(4)均为杆状的硅棒，所述输入直波导(3)和输出直波导(4)的宽度为180-220nm。

3.根据权利要求1所述的一种改进型微环谐振滤波器，其特征在于，所述微环谐振腔(2)为硅环，且所述微环谐振腔(2)的外径为950-1050nm、内径为780-820nm。

4.根据权利要求1所述的一种改进型微环谐振滤波器，其特征在于，所述衬底(1)为三氧化二铝板，所述微环谐振腔(2)、输入直波导(3)和输出直波导(4)的高度均为90-110nm，且所述微环谐振腔(2)、输入直波导(3)和输出直波导(4)嵌入至衬底(1)内的深度为40-50nm。

5.根据权利要求1所述的一种改进型微环谐振滤波器，其特征在于，所述第一耦合区域(5)、所述第二耦合区域(6)、所述第三耦合区域(7)的间距均为18-22nm。