[实用新型]一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置

权利要求书

1.一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，包括读数头，其特征在于：还包括三角波反射镜，用于接收分光镜透射的激光束，以及反射镜反射的激光束，并将反射镜反射的激光束反射至聚光透镜；

所述读数头包括：

激光器，用于发射激光束；

分光镜，用于将激光器发射的激光束透射至三角波反射镜，以及反射至聚光透镜；

反射镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将三角波反射镜反射的激光束再次反射至三角波反射镜；

聚光透镜，用于接收分光镜、三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束透射至光电探测器；

光电探测器，用于接收聚光透镜透射的激光束；

处理器，用于检测光电探测器上产生的干涉现象，并记录读数头与三角波反射镜之间的相对移动位移。

2.根据权利要求1所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述分光镜倾斜设置于三角波反射镜的上方，且与水平方向存在30度夹角；所述反射镜与分光镜相互平行。

3.根据权利要求2所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述反射镜包括多个，每个反射镜用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束再次反射至三角波反射镜。

4.根据权利要求2所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述三角波反射镜包括N个结构相同的反射结构，每个所述反射结构包括第一反射面、第二反射面，所述第一反射面或第二反射面与反射镜平行，且第一反射面与第二反射面之间存在120度夹角。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述聚光透镜为凸透镜，且平行于水平方向设置。

6.根据权利要求5所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述三角波反射镜、读数头均设置于壳体内，且三角波反射镜与壳体相对固定设置，以及读数头相对于壳体移动设置；或三角波反射镜与壳体相对移动设置，以及读数头相对于壳体固定设置。