[实用新型]进气组件和扩散设备

权利要求书

1.一种进气组件，用于在太阳能电池片的制造过程中的扩散步骤中对容纳有所述太阳能电池片的炉体输送特定气体，其特征在于，所述进气组件包括至少两个进气装置，每一个所述进气装置包括：

输送管道，所述输送管道的首端位于所述炉体外部并与气源相连通，所述输送管道的末端位于所述炉体内的预定送气位置；以及

调节部件，所述调节部件安装在所述输送管道上并构造为能够独立于所述进气组件以外的进气装置直接或间接地调节所述输送管道内的气体的特定气体参数，

其中，各个所述进气装置的所述输送管道的末端位置之间存在间隔。

2.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，每一个所述进气装置还包括：

磷源瓶，所述磷源瓶内容纳有磷扩散源；

小氮进气管，所述小氮进气管从外界延伸进入所述磷扩散源内以用于向所述磷源瓶内输送氮气，

并且，所述输送管道的所述首端与所述磷源瓶连通，以用于将磷源氮气从所述磷源瓶引入所述输送管道。

3.根据权利要求2所述的进气组件，其特征在于，所述输送管道上连通有用于从外界向所述输送管道引入普通氮气的大氮进气管和用于从外界向所述输送管道引入氧气的氧气进气管。

4.根据权利要求3所述的进气组件，其特征在于，每一个所述进气装置还包括感测部件，所述调节部件构造为能够基于所述感测部件的感测结果进行闭环控制，所述感测部件包括：

小氮进气流量计，其安装在所述小氮进气管上；

磷源氮气压力计，其安装在所述送气管道上且位于所述大氮进气管和所述氧气进气管的上游。

5.根据权利要求3所述的进气组件，其特征在于，所述调节部件包括：

大氮流量阀，所述大氮流量阀安装在所述大氮进气管上；

氧气流量阀，所述氧气流量阀安装在所述氧气进气管上。

6.根据权利要求3所述的进气组件，其特征在于，所述调节部件包括整体流量阀，所述整体流量阀安装在所述输送管道上并位于所述大氮进气管和所述氧气进气管的下游。

7.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述调节部件包括多个子部件，各个所述子部件能够相对于彼此独立地调节其对应的特定气体参数。

8.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述特定气体参数包括气体的流量、压力、温度、各成分比例中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述炉体内具有容纳腔，所述输送管道的延伸方向和所述容纳腔的长度方向相一致。

10.根据权利要求9所述的进气组件，其特征在于，所述至少两个进气装置中的一个所对应的预定送气位置为所述容纳腔的在所述容纳腔的长度方向上的端部处，所述至少两个进气装置中的另一个所对应的预定送气位置为所述容纳腔的在所述容纳腔的长度方向上的中部处。

11.根据权利要求9所述的进气组件，其特征在于，各个所述进气装置所对应的预定送气位置在所述容纳腔内沿所述容纳腔的长度方向等间隔排布。

12.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述输送管道构造为使所述预定送气位置可改变。

13.根据权利要求12所述的进气组件，其特征在于，所述输送管道构造为能够通过调节其长度而改变其末端的位置。

14.根据权利要求13所述的进气组件，其特征在于，所述输送管道包括多个依次套叠连接的套管，所述输送管道构造为能够通过调节相邻的套管之间的套叠部分的长度而改变所述输送管道的长度。