[实用新型]一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统

权利要求书

1.一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统，包括安装架(1)，其特征在于，所述安装架(1)上设置有显微镜支架(2)，在显微镜支架(2)上通过升降机构活动连接有载物台(3)；在载物台(3)下方设置有与载物台(3)通光孔相对应的非偏振分束镜(4)；

在显微镜支架(2)侧边的安装架(1)上设有朝向非偏振分束镜(4)的LED光源(5)，在LED光源(5)与非偏振分束镜(4)之间设置有第一光学4F系统(6)；

在显微镜支架(2)上方的安装架(1)上设置有与载物台(3)通光孔相对应的相机(7)，在相机(7)与载物台(3)通光孔之间设置有与第一光学4F系统(6)相互垂直的第二光学4F系统(8)。

2.根据权利要求1所述的一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统，其特征在于，所述第一光学4F系统(6)由沿光线前进方向依序设置的第一物镜(6a)、孔径光阑(6b)和第一透镜(6c)组成；所述孔径光阑(6b)位于第一物镜(6a)的后焦点位置，所述第一物镜(6a)的后焦点位置与第一透镜(6c)的前焦点位置重合。

3.根据权利要求1所述的一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统，其特征在于，所述第二光学4F系统(8)由第二物镜(8a)和第二透镜(8b)组成；所述第二物镜(8a)后焦点位置和第二透镜(8b)前焦点位置重合；所述第二物镜(8a)为多倍率显微物镜组并通过物镜转换器(9)连接在显微镜支架(2)上；所述第二透镜(8b)设置在第二物镜(8a)与相机(7)之间。

4.根据权利要求3所述的一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统，其特征在于，所述显微镜支架(2)上方的安装架(1)上设置有移动导轨(10)在移动导轨(10)上固定有支杆(11)，所述第二透镜(8b)固定在支杆(11)自由端。

5.根据权利要求1所述的一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统，其特征在于，所述相机(7)通过二维位移平台(12)与安装架(1)连接。

6.根据权利要求1所述的一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统，其特征在于，所述安装架(1)由相互垂直连接的两块光学面板(1a)及设置在两块光学面板(1a)连接处并分别与两块光学面板(1a)连接的连接架(1b)构成；在光学面板(1a)上均布有若干内螺孔。

7.根据权利要求1所述的一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统，其特征在于，所述显微镜支架(2)侧边的安装架(1)上设置有笼式结构(13)，该笼式结构(13)由间隔设置的若干支撑座(13a)和穿设在各支撑座(13a)之间的四根呈矩形的导向杆(13b)组成，LED光源(5)和非偏振分束镜(4)分别固定在笼式结构(13)两端，所述第一光学4F系统(6)活动穿设在导向杆(13b)上。