[实用新型]一种真空泵节能装置

说明书

本实用新型公开了一种真空泵节能装置，包括：逆止阀、真空产生器。所述逆止阀包括：逆止阀本体、以及位于所述逆止阀本体两端的管道。所述真空产生器设置于所述逆止阀一侧，且真空产生器的真空端与所述逆止阀的进气端相互导通，且真空产生器进气端用于接入高速流动的气体，逆止阀的进气端用于与真空泵的出口端连通。于真空泵出口端加装真空泵节能装置以达到节能目的。需要说明的是，在本方案中，通过加装逆止阀以及真空产生器，增大逆止阀进气端与真空产生器真空端的压强差，从而将维持真空状态时的残气通过所述真空产生器排出，进一步地减小△P，使真空泵在维持真空时减小其能耗，达到节能效果。

技术领域

本实用新型涉及真空泵制作领域，尤其涉及一种真空泵节能装置。

背景技术

真空泵广泛应用于半导体和显示屏领域，真空腔室通过真空管依靠真空泵抽取和维持真空状态，同时将残气通过排气真空泵排出；相对于真空负压，残气在真空泵内的正压压力较大，阻碍其转子转速，请参阅图5，造成抽真空和维持真空时电流波动，电能损失。同时工厂未对真空泵进行节能作业，依靠厂务端排气进行调节，缺点为：整体调低负压，对其他机台排气造成影响，调节空间较小，成本高。

实用新型内容

为此，需要提供一种真空泵节能装置，解决残气在真空泵内的正压压力较大的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种真空泵节能装置，包括：逆止阀、真空产生器；

所述逆止阀包括：逆止阀本体、以及位于所述逆止阀本体两端的管道；

所述真空产生器设置于所述逆止阀一侧，且真空产生器的真空端与所述逆止阀的进气端相互导通，且真空产生器进气端用于接入高速流动的气体，逆止阀的进气端用于与真空泵的出口端连通。

进一步地，所述真空产生器接入高速流动气体的出气端连接于所述逆止阀出气端的管道上。

进一步地，还包括：密封圈、密封接头，所述密封接头设于逆止阀两端，且所述密封圈设于所述密封接头内，用于防止气体流出，密封接头用于与真空泵出口端的管道连接。

进一步地，还包括：VCR接头，所述VCR接头用于连接所述真空产生器以及所述逆止阀。

进一步地，还包括：真空泵；

逆止阀的进气端与所述真空泵出口端相连。

进一步地，所述逆止阀本体还包括：夹具，所述夹具用于连接逆止阀本体的上、下两部分。

进一步地，所述逆止阀还包括弹性伸缩器件和阀门，所述弹性伸缩器件一端位于逆止阀本体内；

所述弹性伸缩器件另一端与阀门连接。

进一步地，所述真空产生器还包括：固定架，所述固定架套设于所述真空产生器上，用于固定真空产生器位置。

区别于现有技术，上述技术方案针对在维持真空时，于真空泵出口端加装真空泵节能装置以达到节能目的。需要说明的是，在本方案中，通过加装逆止阀以及真空产生器，增大逆止阀进气端与真空产生器真空端的压强差，从而将维持真空状态时的残气通过所述真空产生器排出，进一步地减小△P，使真空泵在维持真空时减小其能耗，达到节能效果。

附图说明

图1为一种真空泵节能装置与真空泵的位置关系；

图2为所述一种真空泵节能装置结构图；

图3为所述一种真空泵节能装置原理图；

图4为真空泵内部与所述一种真空泵节能装置入口端压力差；

图5为安装一种真空泵节能装置前真空泵电流损耗图；

图6为安装一种真空泵节能装置前后真空泵运转电流比较图；