[实用新型]一种氮空位色心传感器

权利要求书

1.一种氮空位色心传感器，其特征在于，包括：

电路板；所述电路板上设置有电极；

音叉器件；所述音叉器件的末端与电路板的电极电气连接；

转接梁；所述转接梁设置于所述音叉器件的前端；所述转接梁可透过氮空位色心所发出的荧光及激发氮空位色心的激光；

金刚石基片；所述金刚石基片的一面与转接梁相连接；相对的一面设置有金刚石纳米柱波导阵列；所述金刚石纳米柱波导上设置有氮空位色心。

2.根据权利要求1所述的氮空位色心传感器，其特征在于，所述金刚石纳米柱波导为圆台形状。

3.根据权利要求2所述的氮空位色心传感器，其特征在于，所述圆台形状的上表面直径为200～800nm；边倾角为5°～30°；高度为0.3～2μm。

4.根据权利要求1所述的氮空位色心传感器，其特征在于，所述金刚石纳米柱波导上氮空位色心从表面开始深度为3～50nm。

5.根据权利要求1所述的氮空位色心传感器，其特征在于，所述电路板的长为1～50mm，宽为1～50mm，厚度为0.5～5mm；所述转接梁的长为0.1～3mm，宽为0.01～1mm，厚度为30～500μm；所述金刚石基片的长为50～300μm，宽为50～300μm，厚度为10～80μm。

6.根据权利要求1所述的氮空位色心传感器，其特征在于，所述转接梁为玻璃转接梁和/或硅悬梁。

7.根据权利要求1所述的氮空位色心传感器，其特征在于，所述金刚石基片与转接梁的一面为精密抛光面，其抛光粗糙度达到rms小于1nm。

8.根据权利要求1所述的氮空位色心传感器，其特征在于，还包括原子力显微镜系统；所述电路板的电极与原子力显微镜系统扫描成像反馈系统连接。