[实用新型]自动晶圆筛选机有效

专利信息
申请号: 202020191342.7 申请日: 2020-02-21
公开(公告)号: CN211660425U 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 金朝龙;蓸镝 申请(专利权)人: 苏州天弘激光股份有限公司
主分类号: B07B1/24 分类号: B07B1/24;B07B1/42;B07B1/46
代理公司: 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 代理人: 唐静芳
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 自动 筛选
【权利要求书】:

1.一种自动晶圆筛选机,与电控箱信号连接,其特征在于,包括底座、设置在所述底座上且设置有至少两组孔径不一的筛选孔的滚筒、设置在所述滚筒一侧的第一电机、设置在所述滚筒另一侧的升降机构、用以连接所述第一电机与升降机构且贯穿所述滚筒设置的连杆、及设置在所述连杆上且可沿所述连杆的轴长方向移动的格挡机构,所述格挡机构沿所述连杆移动以使得目标物移动至目标筛选孔处进行筛选。

2.如权利要求1所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,至少部分所述连杆为齿轴,所述格挡机构包括套设在所述齿轴上的格挡板、设置在所述格挡板一侧且与所述齿轴啮合的齿轮、设置在所述格挡板另一侧且与所述齿轮连接的第二电机。

3.如权利要求2所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述格挡板的直径与所述滚筒的直径相等。

4.如权利要求2所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述滚筒内设置有导向轴,所述格挡板与所述导向轴连接。

5.如权利要求1所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述滚筒包括用以筛除碎料的第一筒体及与所述第一筒体连接且用以筛选晶圆的第二筒体,至少两组所述筛选孔设置在所述第二筒体上。

6.如权利要求5所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述第一筒体上设置有若干个均匀设置的筛除孔,所述自动晶圆筛选机还包括设置在所述第一筒体内且与所述连杆连接的螺旋扇叶。

7.如权利要求1所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述升降机构包括升降电缸及与所述升降电缸连接且用以支撑所述连杆的轴承座。

8.如权利要求1所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述自动晶圆筛选机还包括用以连接所述第一电机及连杆的万向球轴承。

9.如权利要求1所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述底座上设置有至少两个开口,所述自动晶圆筛选机还包括与所述开口连接的抽屉。

10.如权利要求1所述的自动晶圆筛选机,其特征在于,所述自动晶圆筛选机还包括与所述底座连接的电控箱及与所述电控箱信号连接的按钮机构。

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