[实用新型]离子束刻蚀机专用广角度偏移焊接波纹管组件

说明书

本实用新型涉及波纹管技术领域，离子束刻蚀机专用广角度偏移焊接波纹管组件，摆动件一端垂直的固定安装在摆动盘一端面的中心处，安装板具有贯穿其两侧表面的通孔，波纹管段位于摆动盘和安装板之间且套装在摆动件外，波纹管段两端分别和摆动盘和安装板固定连接，所述摆动件和摆动盘在一摆动面内摆动；铰接杆设置在安装板的侧面且垂直于摆动面，连杆固定安装在摆动盘侧面，摆臂第一端设有通孔，摆臂通过通孔与铰接杆铰接，摆臂的第二端固定连接在连杆上，使得摆动件和摆动盘可通过摆动组件在平面内摆动。本波纹管组件具有约束摆动件摆动角度的效果，波纹管起到防护摆动件效果，通过波纹管段可保持工作状态。

技术领域

本实用新型涉及波纹管技术领域，特别是离子束刻蚀机使用广角度偏移焊接波纹管。

背景技术

规焊接波纹管主要是用来拉伸和压缩补偿直线运动位移用的，但是在离子束刻蚀机上专用的焊接波纹管并不需要进行拉伸和压缩，而是主要就用来做角度偏移补偿，其专用广角度偏移焊接波纹管的内部是真空，外部是大气。根据离子束刻蚀机的具体角度运动补偿量，摆动件的摆动角度以及波纹管的运动限位受限。

另外，在针对波纹管本体的设计上，本发明根据离子束刻蚀机运动情况，波纹管内部只是真空，并且在一定的范围内还增加的限制装置，在模拟运动过程中发现在其角度偏移的过程中，其偏向的那一端，只有最下面的几个波纹管处在压缩状态，其余的波纹管基本是在自由状态，另一端则是处在拉伸状态，波纹管的工作状态不佳。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出的离子束刻蚀机专用广角度偏移焊接波纹管组件，其具有约束摆动件摆动角度的效果，波纹管起到防护摆动件效果，通过波纹管段可保持工作状态。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

离子束刻蚀机专用广角度偏移焊接波纹管组件，包括摆动件、摆动盘、安装板、两组摆动组件和波纹管段，其中所述摆动件一端垂直的固定安装在摆动盘一端面的中心处，安装板具有贯穿其两侧表面的通孔，摆动件插装在通孔中，所述波纹管段位于摆动盘和安装板之间且套装在摆动件外，波纹管段两端分别和摆动盘和安装板固定连接，所述摆动件和摆动盘在一摆动面内摆动；

所述摆动组件包括铰接杆、摆臂和连杆，其中铰接杆设置在安装板的侧面且垂直于摆动面，所述连杆固定安装在摆动盘侧面，且连杆与所述铰接杆相互平行，所述摆臂第一端设有通孔，摆臂通过通孔与所述铰接杆铰接，摆臂的第二端固定连接在连杆上，使得所述摆动件和摆动盘可通过摆动组件在平面内摆动。

作为优选的，所述安装盘的侧面设有侧板，该侧板与所述摆动面平行。

作为优选的，所述摆臂背向摆动件一侧安装有限位杆，该限位杆与所述连杆相互平行，所述侧板上设有弧形的限位槽，该限位槽弧度与所述摆动件的摆动角度相匹配，所述限位杆插装在限位槽中，以限位摆动件的摆动位置和角度。

作为优选的，所述侧板朝向摆动件一侧表面具有用于显示摆动件摆动角度的角度标尺。

作为优选的，所述侧板对应连杆端部位置设有避位槽，所述角度标尺位于避位槽上方。

作为优选的，所述波纹管段为环带宽度为10mm的316L不锈钢焊接波纹管，规格为90mmx70mm，波纹管段片厚为0.1mm。

使用本实用新型的有意效果是：

本组件通过摆动盘和安装板之间设置波纹管段，通过波纹管段防护摆动件，在安装板的相对两侧设置限位组件，通过限位组件中的铰接杆、摆臂和连杆，实现对摆动件和摆动盘的限位，使得摆动件的摆动被限制的一个特定额平面内，通过侧板的设置，以及摆臂外侧限位杆的配合使用，使得摆动件的摆动精度得到限制，同时辅助避位槽和角度标尺，以达到波纹管组件的最佳工作效率和工作状态，本装置中的波纹管组件通过特殊材料和尺寸优化，这样波纹管会更软，以便满足广角度偏移的情况。