[实用新型]加热设备有效
申请号: | 202020200907.3 | 申请日: | 2020-02-24 |
公开(公告)号: | CN211267101U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 朱盛波;冯圣;曲参 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | H05B1/02 | 分类号: | H05B1/02;H01L21/67 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 范坤坤 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热 设备 | ||
1.一种加热设备,其特征在于,包括:
腔体;
加热部,包括设置于所述腔体内的至少一层主加热模块和设置于所述腔体至少一个内壁上的多个补偿加热模块,所述主加热模块包括多个线状的加热单元,所述补偿加热模块呈块状;
多个测温部,分别位于所述主加热模块和所述补偿加热模块的加热区域,用于测量所述主加热模块和所述补偿加热模块的加热区域的温度;
温控部,与所述多个测温部以及所述加热部连接,用于根据所述测温部测量的温度,控制所述补偿加热模块的输出功率;
至少一个承载部,设置于所述腔体内,用于承载待加热结构。
2.根据权利要求1所述的加热设备,其特征在于,所述加热部包括多层所述主加热模块,沿所述主加热模块的层叠方向,所述主加热模块和所述承载部交替设置,且相邻的所述主加热模块与所述承载部之间存在间隙。
3.根据权利要求2所述的加热设备,其特征在于,所述腔体包括第一内壁,所述第一内壁与所述加热单元的端面相对设置,所述第一内壁上设置有多个所述补偿加热模块;
沿所述主加热模块的层叠方向,所述腔体包括多个第一加热区域,所述第一内壁包括多个第二加热区域,所述第二加热区域与所述第一加热区域一一对应设置,每个所述第一加热区域包括一个所述主加热模块和一个所述承载部,所述第二加热区域包括至少一个所述补偿加热模块。
4.根据权利要求3所述的加热设备,其特征在于,同一所述第二加热区域内的所述补偿加热模块相同。
5.根据权利要求3所述的加热设备,其特征在于,至少部分所述第二加热区域包括至少两个子加热区域,在同一所述第二加热区域内,不同的所述子加热区域内的所述补偿加热模块的输出功率不同。
6.根据权利要求2所述的加热设备,其特征在于,所述腔体包括第二内壁,所述第二内壁与单层所述主加热模块所在层面平行设置,所述第二内壁上设置有多个所述补偿加热模块;
沿所述加热单元的延伸方向,所述主加热模块包括多个第三加热区域,所述第二内壁包括多个第四加热区域,所述第四加热区域与所述第三加热区域一一对应设置,所述第四加热区域包括至少一个所述补偿加热模块。
7.根据权利要求2所述的加热设备,其特征在于,所述腔体包括第三内壁,所述第三内壁与所述主加热模块所在层面垂直且与所述加热单元的延伸方向平行设置,所述第三内壁上设置有多个所述补偿加热模块;
沿所述主加热模块的层叠方向,所述腔体包括多个第一加热区域,所述第三内壁包括多个第五加热区域,所述第五加热区域与所述第一加热区域一一对应设置,每个所述第一加热区域包括一个所述主加热模块和一个所述承载部;和/或,
沿所述加热单元的延伸方向,所述主加热模块包括多个第三加热区域,所述第三内壁包括多个第六加热区域,所述第六加热区域与所述第三加热区域一一对应设置,所述第六加热区域包括至少一个所述补偿加热模块。
8.根据权利要求1所述的加热设备,其特征在于,所述补偿加热模块包括近红外加热模块。
9.根据权利要求8所述的加热设备,其特征在于,所述近红外加热模块辐射的近红外的波数为4000至12500条/平方厘米。
10.根据权利要求1所述的加热设备,其特征在于,所述温控部包括主机和与所述主机连接的补偿温控器,所述补偿温控器与所述补偿加热模块连接;
所述多个测温部包括第一温度传感器和第二温度传感器,所述第一温度传感器位于所述主加热模块的加热区域,且与所述主机连接,所述第二温度传感器位于所述补偿加热模块的加热区域,且与所述主机连接。
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