[实用新型]一种固定保持环锭材的夹具

说明书

本实用新型提供了一种固定保持环锭材的夹具，包括：上夹具，所述上夹具开设弧形的第一卡槽；下夹具，所述下夹具开设弧形的第二卡槽，所述上夹具和所述下夹具对夹安装，所述第一卡槽和所述第二卡槽相对设置并共同组成限制保持环锭材的限位孔。所述固定保持环锭材的夹具能够有效地将保持环锭材进行固定，可以在保持环锭材切断制备保持环的过程中，避免出现保持环锭材松动的情况，保证切断稳定性，进而保证保持环的质量达到生产标准。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种固定保持环锭材的夹具。

背景技术

芯片在生活中的应用已经无所不在，并向着集成化和微型化的趋势发展。标签类、LED灯珠类芯片的面积已经小到几乎让人无法察觉，例如地铁车票，演唱会门票等等。在对芯片进行去层分析时，也为了使芯片表面光滑和平坦，通常需要对芯片进行研磨。

目前，一般是使用化学机械研磨方法来实现研磨过程，其原理是通过化学反应和机械作用来研磨剥除沉积在芯片表面的多余的薄膜，使芯片表面光滑平坦。化学机械研磨方法的具体过程为：研磨液喷嘴向研磨垫喷出研磨液，研磨液再向周边扩散，使得各个沟槽都有研磨液分布；当研磨垫旋转时，研磨垫通过研磨液的作用对芯片进行研磨。

在使用化学机械研磨方法进行芯片研磨的过程中，需要通过保持环(RetainerRing)对芯片进行保护和固定。如果保持环的平面度和平行度达不到质量要求，会导致研磨后的芯片也达不到平面度和平行度的质量要求，甚至会导致芯片的断裂。

目前，一般采用聚苯硫醚(Polyphenylene sulfide，PPS)制作保持环。PPS是一种综合性能优异的特种工程塑料，具有优良的耐高温、耐腐蚀、耐辐射、阻燃、均衡的物理机械性能，极好的尺寸稳定性以及优良的电性能等特点，被广泛用作结构性高分子材料，通过填充、改性后广泛用作特种工程塑料。同时，PPS还可制成各种功能性的薄膜、涂层和复合材料，在电子电器、航空航天、汽车运输等领域获得成功应用。

然而，在PPS保持环锭材切断制备保持环的过程中，经常出现PPS保持环锭材松动的情况，严重影响切断稳定性，进而导致保持环质量不达标，因此，目前亟需开发一种行之有效的固定保持环锭材的夹具。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供了一种固定保持环锭材的夹具，包括：开设弧形第一卡槽的上夹具和开设弧形第二卡槽的下夹具。所述固定保持环锭材的夹具能够有效地将保持环锭材进行固定，可以在保持环锭材切断制备保持环的过程中，避免出现保持环锭材松动的情况，保证切断稳定性，进而保证保持环的质量达到生产标准。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型的目的在于提供一种固定保持环锭材的夹具，包括：上夹具，所述上夹具开设弧形的第一卡槽；下夹具，所述下夹具开设弧形的第二卡槽，所述上夹具和所述下夹具对夹安装，所述第一卡槽和所述第二卡槽相对设置并共同组成限制保持环锭材的限位孔。

本实用新型所述固定保持环锭材的夹具根据保持环锭材的尺寸进行定制，可以通过上夹具和下夹具对夹安装形成一个限位孔，进而将保持环锭材牢牢卡住，能够在保持环锭材切断制备保持环的过程中，避免出现保持环锭材松动的情况，保证切断稳定性，进而保证保持环的质量达到生产标准。

以下作为本实用新型优选的技术方案，但不作为本实用新型提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本实用新型的技术目的和有益效果。

作为本实用新型优选的技术方案，沿保持环锭材长度方向，所述上夹具和所述下夹具的长度相等。

作为本实用新型优选的技术方案，沿保持环锭材长度方向，所述上夹具和所述下夹具的长度均为5-20mm，例如5mm、8mm、10mm、13mm、15mm、18mm或20mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。