[实用新型]用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统

权利要求书

1.用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：包括进风管路和排风管路，所述进风管路与坩埚熔融机腔体上部的进风孔连接，所述排风管路与坩埚熔融机腔体下部的排风孔连接；

所述进风管路上安装有能够调节所在管路流量的第一气动高真空挡板阀(1)和能够检测所在管路压力的第一压力检测装置；所述坩埚熔融机腔体上安装有能够检测坩埚熔融机腔体内部压力的第二压力检测装置；所述排风管路上安装有能够调节所在管路流量的第二气动高真空挡板阀(5)和能够检测所在管路压力的第三压力检测装置(6)。

2.根据权利要求1所述的用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：所述进风管路包括进风主管和与进风主管连接的两条进风支路，所述两条进风支路一端与进风主管连接，另一端分别与坩埚熔融机腔体上部的两个进风孔连接，所述坩埚熔融机腔体上部的两个进风孔对称的开设于坩埚熔融机腔体上部两侧。

3.根据权利要求2所述的用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：所述第一气动高真空挡板阀(1)安装于进风主管上，所述两条进风支路上分别安装有一套第一压力检测装置。

4.根据权利要求1所述的用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：所述排风管路包括排风主管和与排风主管连接的两条排风支路，所述两条排风支路一端与排风主管连接，另一端分别与坩埚熔融机腔体下部的两个排风孔连接，所述坩埚熔融机腔体下部的两个排风孔对称的开设于坩埚熔融机腔体下部两侧。

5.根据权利要求4所述的用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：所述第二气动高真空挡板阀(5)和第三压力检测装置(6)均安装于排风主管上。

6.根据权利要求1所述的用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：所述第一压力检测装置、第二压力检测装置和第三压力检测装置(6)包括压力计和数字压力传感器。

7.根据权利要求1所述的用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：所述进风管路和排风管路均为软管。

8.根据权利要求1所述的用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，其特征在于：所述第一气动高真空挡板阀(1)为常闭，所述第二气动高真空挡板阀(5)为常开。