[实用新型]一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置

权利要求书

1.一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置，其特征在于，包括：

外壳(6)；

安装在外壳(6)侧面的机盖(1)；

固定在外壳(6)内部的光学平台(2)；

依次安装在光学平台(2)上的衰减片组件(3)、第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)、第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)和QBH激光器(5)；

所述衰减片组件(3)与第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)同轴线安装，所述QBH激光器(5)与第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)同轴线安装，所述衰减片组件(3)与QBH激光器(5)不在同一个轴线上，所述第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)与第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)相对安装；

所述QBH激光器(5)发射的激光沿输入激光光轴方向入射至第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)中，回返光偏离输入激光光轴方向反射至第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)中，反射光沿着输出激光光轴方向反射至衰减片组件(3)中，所述输出激光光轴方向与输入激光光轴方向平行。

2.根据权利要求1所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置，其特征在于，所述衰减片组件(3)包括：与光学平台(2)相连的衰减片基座(3.1)，与衰减片基座(3.1)上端通过定位销(3.5)相连的第一衰减片(3.2)、第二衰减片(3.3)、第三衰减片(3.4)；所述第一衰减片(3.2)、第二衰减片(3.3)、第三衰减片(3.4)均能够沿定位销(3.5)轴线转动。

3.根据权利要求2所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置，其特征在于，所述第一衰减片(3.2)为ND0.5，所述第二衰减片(3.3)为ND1.0，所述第三衰减片(3.4)为ND2.0，所述定位销(3.5)采用φ5定位销。

4.根据权利要求1所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置，其特征在于，所述第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)与第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)结构相同。

5.根据权利要求4所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置，其特征在于，所述第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)包括：与光学平台(2)相连的第一光学支架(4.1)、与第一光学支架(4.1)上端相连的第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)、与第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)螺纹连接的两个第一G1/4快拧(4.2)、安装在第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)最前端的第一光学楔镜(4.4)，所述第一光学楔镜(4.4)的斜面朝外；

所述第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)包括：与光学平台(2)相连的第二光学支架(7.1)、与第二光学支架(7.1)上端相连的第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)、与第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)螺纹连接的两个第二G1/4快拧(7.2)、安装在第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)最前端的第二光学楔镜(7.4)，所述第二光学楔镜(7.4)的斜面朝外；

所述第一光学楔镜(4.4)与第二光学楔镜(7.4)相对安装；

激光沿输入激光光轴方向以楔角入射至第二光学楔镜(7.4)斜面，回返光偏离输入激光光轴方向两倍楔角反射至第一光学楔镜(4.4)斜面，回返光到达第一光学楔镜(4.4)后偏离输入激光光轴方向两倍楔角反射至后续光路中的衰减片组件(3)中，此时，输入激光与反射光平行。

6.根据权利要求5所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置，其特征在于，所述第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)与第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)结构相同；所述第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)前端内部安装有积分球和水冷装置，所述积分球位于第一光学楔镜(4.4)后面且靠近第一光学楔镜(4.4)，所述水冷装置位于积分球后面。

7.根据权利要求5所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置，其特征在于，所述第二光学楔镜(7.4)与第一光学楔镜(4.4)结构相同。