[实用新型]一种涂布在线检测系统有效

专利信息
申请号: 202020215325.2 申请日: 2020-02-27
公开(公告)号: CN211989446U 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 杭州纤纳光电科技有限公司
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C9/08;G01D21/02
代理公司: 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 代理人: 杨文华
地址: 311121 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 在线 检测 系统
【权利要求书】:

1.一种涂布在线检测系统,包括向基底表面进行涂布的涂布模头及其固定装置,其特征在于,在所述固定装置上分别设置有前支撑架和后支撑架,和/或左支撑架和右支撑架,所述前支撑架和后支撑架分别位于涂布模头溢出的涂布液膜的上游侧和下游侧,所述左支撑架和右支撑架分别位于涂布模头溢出的涂布液膜的左右两侧,在所述前支撑架和后支撑架,和/或左支撑架和右支撑架上分别设有检测涂布模头处溢出的涂布液膜状态的探测器。

2.如权利要求1所述的涂布在线检测系统,其特征在于,位于前支撑架的前探测器用于检测涂布液膜上游侧的溶液分布状态,所述前探测器包括模头前数字摄像装置,所述模头前数字摄像装置采集涂布模头处溢出的涂布液膜上游处的状态图像信息。

3.如权利要求1所述的涂布在线检测系统,其特征在于,在所述前支撑架上还设有检测基底质量的基底探测器。

4.如权利要求3所述的涂布在线检测系统,其特征在于,在所述基底探测器的上游还设置了基底除尘装置,所述除尘装置对将要涂布的基底表面进行除尘。

5.如权利要求1所述的涂布在线检测系统,其特征在于,位于后支撑架的后探测器用于检测涂布液膜下游侧的溶液分布状态,所述后探测器为模头后数字摄像装置,所述模头后数字摄像装置采集涂布模头处溢出的涂布液膜下游处的状态图像信息。

6.如权利要求1所述的涂布在线检测系统,其特征在于,在所述后支撑架上还设置检测基底表面已涂布的涂布液膜质量的涂膜探测器。

7.如权利要求6所述的涂布在线检测系统,其特征在于,所述涂膜探测器包括涂膜数字摄像装置和/或在线式测厚仪,所述涂膜数字摄像装置采集已涂布的涂布液膜的状态图像信息,所述在线式测厚仪用于对已涂布的涂布液膜进行在线膜厚测量,所述在线式测厚仪为X射线测厚仪、激光测厚仪、红外测厚仪和光学干涉测厚仪中任意一种。

8.如权利要求1所述的涂布在线检测系统,其特征在于,所述涂布在线检测系统还包括控制系统,所述控制系统收集各个探测器的检测信息,判定涂布模头溢出的涂布液膜的质量好坏,并根据该检测信息调整涂布模头的涂布参数。

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