[实用新型]一种真空三维位移平台

权利要求书

1.一种真空三维位移平台，包括下法兰(1)、X方向螺母座(9)、Y方向螺母座(17)和X向活动块(37)，其特征在于：所述下法兰(1)的上方设置有波纹管(2)，且波纹管(2)的外侧连接有Y向固定法兰(3)，所述Y向固定法兰(3)的上方连接有连接块(4)，所述连接块(4)的左侧设置有Y向固定块(5)，且Y向固定块(5)的正面安置有Y向活动块(6)，所述Y向活动块(6)的上侧安装有X方向固定块(7)，且X方向固定块(7)的X方向活动块(8)，所述X方向螺母座(9)设置于波纹管(2)的右侧，且X方向螺母座(9)的右端固定有X方向第一螺母(10)，所述X方向第一螺母(10)的底端连接有X方向调节丝杆(11)，且X方向调节丝杆(11)的外表面安装有X方向轴承(12)，所述X方向轴承(12)的右侧设置有X方向第二螺母(13)，且X方向第二螺母(13)的右侧设置有X方向手轮(14)，所述X方向轴承(12)的外侧设置有X方向轴承座(15)，且X方向活动块(8)的左侧设置有第一交叉滚子导轨(16)，所述Y方向螺母座(17)设置于波纹管(2)的后侧，且Y方向螺母座(17)的内侧固定有Y方向第一螺母(18)，所述Y方向第一螺母(18)的后侧设置有Y方向轴承(19)，所述Y方向轴承(19)的后侧设置有Y方向第二螺母(23)，且Y方向第二螺母(23)的外侧设置有Y方向轴承座(22)，所述Y方向轴承座(22)的内表面镶嵌有Y方向卡簧(25)，所述Y方向轴承(19)的内侧设置有Y方向调节丝杆(20)，且Y方向调节丝杆(20)的后侧末端连接有Y方向调节手轮(21)，所述Y方向轴承(19)的外侧设置有Y方向轴承座(22)，且Y方向轴承座(22)，所述Y方向轴承(19)的下方设置有第二交叉滚子导轨(24)，所述X向活动块(37)设置于波纹管(2)的前端，且X向活动块(37)的上方设置有Z向法兰(36)，所述Z向法兰(36)的前端固定有Z向活动块(27)，且Z向活动块(27)的前端设置有Z向固定块(26)，所述Z向活动块(27)的正上方设置有Z向第一螺母(28)，且Z向第一螺母(28)的正上方设置有Z向螺母座(29)，所述Z向螺母座(29)的上端设置有Z向轴承座(30)，且Z向轴承座(30)的内侧固定有Z向轴承(31)，所述Z向轴承座(30)的内侧表面镶嵌有Z向卡簧(32)，且Z向轴承(31)的上方设置有Z向第二螺母(35)，所述Z向轴承(31)的内侧设置有Z向调节丝杆(34)，且Z向调节丝杆(34)的顶侧末端固定有Z向手轮(33)，所述Z向活动块(27)的左右两端设置有交叉滚子轴承(38)。

2.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述下法兰(1)与波纹管(2)之间为焊接连接，并且Y向固定法兰(3)与连接块(4)之间为固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Y方向螺母座(17)与Y向活动块(6)之间为构成滑动结构，且Y方向第一螺母(18)与Y方向螺母座(17)之间为螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Y方向轴承(19)与Y方向卡簧(25)之间构成卡合结构，且Y方向轴承(19)与Y方向调节丝杆(20)之间构成旋转结构。

5.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Z向固定块(26)与Z向活动块(27)之间构成滑动连接，且Z向活动块(27)与Z向螺母座(29)之间为螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Z向轴承座(30)与Z向固定块(26)之间紧密贴合，且Z向轴承(31)与Z向轴承座(30)之间构成转动。

7.根据权利要求1所述的一种真空三维位移平台，其特征在于：所述Z向手轮(33)与Z向调节丝杆(34)之间构成转动结构，且Z向调节丝杆(34)与Z向第二螺母(35)之间为螺纹连接。