[实用新型]一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置

权利要求书

1.一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置，包括工件（2），掩膜带（3），储带轮（4），喷嘴（5），阴极（6），电解加工电源（11），收带轮（12），驱动源（13），其特征在于：它还包括由压紧辊子Ⅰ（7-1）、压紧辊子Ⅱ（7-2）、连杆Ⅰ（8-1）、连杆Ⅱ（8-2）、挂板（9）和压缩弹簧（10）组成的阴极（6）压紧单元，由辊子Ⅰ（1-1）、辊子Ⅱ（1-2）、辊子Ⅲ（1-3）和辊子Ⅳ（1-4）组成的工件（2）支持单元；所述的压紧辊子Ⅰ（7-1）和压紧辊子Ⅱ（7-2）分别安设在连杆Ⅰ（8-1）和连杆Ⅱ（8-2）上，两者旋转中心轴线相互平行且位于同一水平面上；所述的连杆Ⅰ（8-1）和连杆Ⅱ（8-2）分别铰接联接在挂板（9）的左右两端且可绕各自的铰接中心轴线转动；所述的压缩弹簧（10）的左端和右端分别固定在连杆Ⅰ（8-1）和连杆Ⅱ（8-2）上；所述的辊子Ⅰ（1-1）、辊子Ⅱ（1-2）、辊子Ⅲ（1-3）和辊子Ⅳ（1-4）的轴线位于同一水平面上并且可绕各自的旋转中心轴线转动；所述的工件（2）紧密压贴于辊子Ⅰ（1-1）、辊子Ⅱ（1-2）、辊子Ⅲ（1-3）和辊子Ⅳ（1-4）的上方且可相对运动；所述的掩膜带（3）被阴极（6）紧密地压贴在工件（2）上，并形成包角θ；所述的工件（2）可水平移动地置于阴极（6）的正下方，并与掩膜带（3）紧密接触；所述的掩膜带（3）为含有镂空图案的电绝缘材料薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置，其特征在于：所述的储带轮（4）和收带轮（12）的材质均为高聚物聚丙烯材料。

3.根据权利要求1所述的一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置，其特征在于：所述的阴极（6）与掩膜带（3）之间的包角θ的范围为30°~180°。

4.根据权利要求1所述的一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置，其特征在于：所述的喷嘴（5）安设于掩膜带（3）的上方，且喷嘴（5）指向掩膜带（3）与阴极（6）所形成夹角的顶角处。

5.根据权利要求1所述的一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置，其特征在于：所述的掩膜带（3）的一端缠绕在收带轮（12）上，另一端缠绕在储带轮（4）上，并在工件（2）和阴极（6）的共同作用下处于张紧状态。

6.根据权利要求1所述的一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置，其特征在于：所述的收带轮（12）做逆时针转动。

7.根据权利要求1所述的一种用于带式活动掩膜电解加工平面状工件的装置，其特征在于：所述的辊子Ⅰ（1-1）、辊子Ⅱ（1-2）、辊子Ⅲ（1-3）和辊子Ⅳ（1-4）的几何参数相同。