[实用新型]单硅晶片生产用甩干装置有效
申请号: | 202020218832.1 | 申请日: | 2020-02-27 |
公开(公告)号: | CN212030032U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 沈培琴 | 申请(专利权)人: | 浙江贝盛新材料科技有限公司 |
主分类号: | F26B5/08 | 分类号: | F26B5/08;F26B11/08;F26B25/16;F26B21/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 马小辉 |
地址: | 313000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 生产 用甩干 装置 | ||
本实用新型公开了单硅晶片生产用甩干装置,包括甩干装置壳体、控制箱、旋转甩干机构、热吹风机构,所述甩干装置壳体右侧设置有所述控制箱,所述甩干装置壳体内部设置有所述旋转甩干机构,所述旋转甩干机构上部设置有所述热吹风机构。有益效果在于:通过所述甩干装置壳体实现装置的密封,提高甩干装置的密封性,通过所述旋转甩干机构和所述热吹风机构实现对单硅晶片的甩干,通过干燥的质量和干燥速度,保证干燥过程的清洁度。
技术领域
本实用新型涉及机械甩干设备设计领域,特别是涉及单硅晶片生产用甩干装置。
背景技术
单晶硅片作为光伏发电的太阳能电池片的基础材料,拥有广泛的市场需求,同时也作为电脑芯片的原材料,硅片是一种半导体器件基础材料,是由硅锭通过切割加工成具有一定厚度的片状基底材料,通过在基底材料上进行若干工序形成具有各种功能的半导体器件,是组成各种电子设备的基础,单晶硅片对生产环境要求严格,传统的单硅晶片生产用甩干装置的设备使用清洁度和密封性有待提高。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供单硅晶片生产用甩干装置。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
单硅晶片生产用甩干装置,包括甩干装置壳体、控制箱、旋转甩干机构、热吹风机构,所述甩干装置壳体右侧设置有所述控制箱,所述甩干装置壳体内部设置有所述旋转甩干机构,所述旋转甩干机构上部设置有所述热吹风机构。
优选地,所述甩干装置壳体包括壳体底座,所述壳体底座下部连接支撑腿,所述壳体底座上部连接甩干桶侧壁,所述甩干桶侧壁后部上侧设置有连接铰链,所述连接铰链上侧连接甩干桶盖,所述甩干桶侧壁两侧设置有支撑缸,所述支撑缸上部设置有支撑杆,所述甩干桶盖前部设置有桶盖锁扣,所述壳体底座下部连接排水管道,所述壳体底座通过焊接连接所述支撑腿,所述壳体底座通过焊接连接所述甩干桶侧壁,所述甩干桶侧壁通过所述连接铰链连接所述甩干桶盖,所述支撑缸通过轴销连接所述甩干桶侧壁,所述支撑杆滑动连接所述支撑缸,所述桶盖锁扣通过轴销连接所述甩干桶盖,所述排水管道通过螺栓连接所述壳体底座。
优选地,所述旋转甩干机构包括旋转盘,所述旋转盘上部设置有单组固定网,所述旋转盘下部设置有传动皮带,所述传动皮带上部设置有驱动电机,所述单组固定网通过螺栓连接所述旋转盘,所述驱动电机通过所述传动皮带连接所述旋转盘。
优选地,所述旋转甩干机构包括旋转盘,所述旋转盘上部设置有多组固定网,所述旋转盘下部设置有传动皮带,所述传动皮带上部设置有驱动电机,所述多组固定网通过螺栓连接所述旋转盘,所述驱动电机通过所述传动皮带连接所述旋转盘。
优选地,所述热吹风机构包括加热风箱,所述加热风箱后部设置有进风滤网,所述加热风箱上部连接热风管道,所述热风管道上端连接出风喷嘴,所述进风滤网通过螺栓连接所述加热风箱,所述加热风箱通过所述热风管道连接所述出风喷嘴。
有益效果在于:通过甩干装置壳体实现装置的密封,提高甩干装置的密封性,通过旋转甩干机构和热吹风机构实现对单硅晶片的甩干,通过干燥的质量和干燥速度,保证干燥过程的清洁度。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型所述单硅晶片生产用甩干装置实施例1的第一立体图;
图2是本实用新型所述单硅晶片生产用甩干装置实施例1的第二立体图;
图3是本实用新型所述单硅晶片生产用甩干装置实施例1的第三立体图;
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