[实用新型]一种蒸镀测试基板以及蒸镀测试装置有效
| 申请号： | 202020219594.6 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211497764U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 宋阳;李存智;张凯;郭钟旭;王培;帅铭;徐燕燕 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/54;G01B21/08;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 付生辉 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 以及 装置 | ||
1.一种蒸镀测试基板，其特征在于，包括：
基板本体；
设置于所述基板本体上的多个蒸镀单元；
其中，所述蒸镀单元上设置有金属走线，相邻的蒸镀单元之间的金属走线彼此电连接。
2.根据权利要求1所述的蒸镀测试基板，其特征在于，所述基板本体的边缘处设置有多个管脚，位于所述基板本体边缘处的蒸镀单元的金属走线与所述管脚电连接。
3.根据权利要求2所述的蒸镀测试基板，其特征在于，位于所述基板本体的边缘处的多个蒸镀单元的金属走线通过连接线彼此电连接，所述连接线与所述管脚电连接。
4.根据权利要求1所述的蒸镀测试基板，其特征在于，所述金属走线包括彼此之间相互纵横交错的第一走线以及第二走线，其中，相邻的蒸镀单元之间的第一走线彼此电连接，相邻的蒸镀单元之间的第二走线彼此电连接。
5.根据权利要求4所述的蒸镀测试基板，其特征在于，所述基板本体的边缘处设置有多个管脚，位于所述基板本体的边缘处的多个蒸镀单元的第一走线通过第一连接线彼此电连接，所述第一连接线与所述管脚电连接
和
位于所述基板本体的边缘处的多个蒸镀单元的第二走线通过第二连接线彼此电连接，所述第二连接线与所述管脚电连接。
6.根据权利要求4或5所述的蒸镀测试基板，其特征在于，所述蒸镀单元上的第一走线包括有三个，所述三个第一走线沿水平方向进行延伸，所述蒸镀单元上的第二走线包括有五个，所述五个第二走线沿竖直方向进行延伸。
7.根据权利要求1所述的蒸镀测试基板，其特征在于，所述蒸镀单元上还设置有与所述金属走线延伸方向相对应的膜厚测试区域，所述膜厚测试区域包括多个间隔分布的测试单元，相邻的蒸镀单元之间的金属走线穿过相邻测试单元之间的间隔彼此电连接。
8.根据权利要求1所述的蒸镀测试基板，其特征在于，所述基板本体上还设置有对位单元。
9.一种蒸镀测试装置，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的蒸镀测试基板。
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