[实用新型]一种纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020231911.6 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689211U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米真空镀膜仪，包括真空镀膜仪本体(1)，其包括蒸发源、蒸发坩埚(3)以及真空镀膜室(4)，蒸发坩埚(3)位于真空镀膜室(4)底部，所述真空镀膜室(4)内设置有镀膜零件架，还包括电磁吸附装置(5)，其特征在于：所述镀膜零件架包括第一架体(6)和第二架体(7)，第一架体(6)和第二架体(7)均包括装载盘(8)以及固定在装载盘(8)两侧的电动旋转杆(9)，装载盘(8)一侧固定有电磁吸附装置(5)。
2.根据权利要求1所述的纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述蒸发源以及蒸发干锅均设置有三个，且呈等边三角形排布。
3.根据权利要求1所述的纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述真空镀膜室(4)内壁上固定有滑轨(10)，滑轨(10)上配合有行程车(11)。
4.根据权利要求3所述的纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述滑轨(10)有两个，且对立设置，每个滑轨(10)上具有两个行程车(11)。
5.根据权利要求3所述的纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述滑轨(10)具有两组，每组滑轨(10)具有两个滑道，滑道对立设置，每个滑道上配合有一个行程车(11)。
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