[实用新型]基板制程用的框架

说明书

本实用新型提供一种基板制程用的框架，其包括两个夹具，呈相对向设置；四个动力机构，夹具的两端分别设有动力机构，动力机构包括壳体、齿条、齿轮、弹性组件及驱动组件，齿条与齿轮相互啮合且设于壳体中，齿轮的一侧连接夹具的一端，弹性组件抵顶于齿条与壳体之间，驱动组件设于齿轮的另一侧或齿条，驱动组件露出壳体外；两个第一连杆，呈相对向设置，第一连杆的两端分别设有动力机构，第一连杆位于两个夹具之间。由此，本实用新型可作为基板的传输使用，且由动力机构驱动夹具，使夹具稳固夹持基板或释放基板，而达到便于传输基板至后续制程的功效。

技术领域

本实用新型涉及一种基板制程用的框架，更特别地涉及一种便于传输基板至后续制程的基板制程用的框架。

背景技术

一般的基板在清洁传输过程中，常会因基板的夹持问题，而造成基板在清洁传输过程中的诸多不便。

实用新型内容

基于本实用新型的至少一个实施例，本实用新型的基板制程用的框架，可作为基板的传输使用，且由动力机构驱动夹具，使夹具稳固夹持基板或释放基板，而达到便于传输基板至后续制程的目的。

本实用新型提供一种焊基板制程用的框架，其包括：两个夹具，其呈相对向设置；四个动力机构，各所述夹具的两端分别设有所述动力机构，各所述动力机构包括壳体、齿条、齿轮、弹性组件及驱动组件，所述齿条与所述齿轮相互啮合且设于所述壳体中，所述齿轮的一侧连接所述夹具的一端，所述弹性组件抵顶于所述齿条与所述壳体之间，所述驱动组件设于所述齿轮的另一侧或所述齿条，且所述驱动组件露出所述壳体外；以及两个第一连杆，其呈相对向设置，各所述第一连杆的两端分别设有所述动力机构，各所述第一连杆位于所述两个夹具之间。

通过上述结构，本实用新型可作为基板的传输使用，且由动力机构驱动夹具，使夹具稳固夹持基板或释放基板，而达到便于传输基板至后续制程的目的。

可选地，各所述夹具包括下固定部、上夹持部及至少一个连接部，所述下固定部结合于所述连接部且所述下固定部的两端分别连接于两个所述壳体之间，所述上夹持部活动设于所述连接部，且所述上夹持部的两端分别连接两个所述齿轮的一侧。

可选地，各所述动力机构分别具有露出所述壳体外的至少一个第一定位件，各所述第一定位件分别结合于所述下固定部的两端。

可选地，各所述齿轮的一侧分别具有传动轴，各所述传动轴分别连接所述上夹持部的两端。

可选地，所述下固定部具有多个下夹持爪，所述上夹持部具有多个上夹持爪，各所述上夹持爪分别对应各所述下夹持爪。

可选地，所述下固定部具有多个抵靠件，所述上夹持部具有多个上夹持爪，各所述上夹持爪分别对应各所述抵靠件。

可选地，各所述动力机构分别包括定位框架，所述定位框架设有上盖及底板，所述底板具有导杆，所述定位框架设于所述壳体中，所述齿条与所述齿轮设于所述定位框架中，所述导杆穿设所述弹性组件，所述齿条套设于所述弹性组件外，所述弹性组件的两端分别抵顶所述齿条与所述底板，所述上盖与所述定位框架之间及所述底板与所述定位框架之间分别设有第一气密环。

可选地，所述驱动组件呈杆状且设于所述齿轮的另一侧，所述驱动组件露出所述壳体外，所述齿轮与所述定位框架之间设有第二气密环。

可选地，所述驱动组件呈柱状且设于所述齿条的顶端，所述驱动组件露出所述上盖外，所述驱动组件与所述上盖之间设有第二气密环。

可选地，所述底板设有逆止阀，所述逆止阀连通于所述定位框架内。

可选地，还包括两个第二连杆，其呈相对向设置，各所述第二连杆的两端分别设有所述动力机构，各所述第二连杆分别与各所述夹具相邻且位于所述两个第一连杆之间。

附图说明