[实用新型]坩埚支撑装置有效
申请号: | 202020238304.2 | 申请日: | 2020-03-02 |
公开(公告)号: | CN211626075U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 刘祥庆;刘宇锋 | 申请(专利权)人: | 烟台美尔森石墨有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10 |
代理公司: | 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 | 代理人: | 申国栋 |
地址: | 264000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 支撑 装置 | ||
本实用新型公开了一种坩埚支撑装置,包括埚托和托杆,还包括安装在托杆顶部且用于盛放埚托的连接盘;所述埚托的底面上设有环形的凸起,所述凸起位于连接盘的外侧。本实用新型在埚托底部增设环形的凸起,阻挡溢出的硅液,使硅液沿凸起向下滴落,防止流到组件之间的连接处,造成黏合等不必要的问题,同时还将托杆改为分体结构,节省了原材料。
技术领域
本实用新型涉及一种支撑坩埚的装置。
背景技术
坩埚通过支撑装置固定在加热炉中。现有技术中的支撑装置包括托杆与埚托两部分。托杆底部固定在加热炉底部,上端承托埚托,坩埚放置在埚托上。
硅晶体在加热后变为硅液,会从坩埚缝隙处流向埚托处,然后从埚托边缘溢出、沿埚托底部到达埚托与托杆相接的位置处,遇冷后硅液凝固,将组件黏合在一起难以脱离。
另一方面,目前的托杆部分是细长的一体结构,同时为了保证稳固地支撑埚托,其上端直径较大,因此必须使用直径较大、较长的材料加工,浪费材料。
再次,托杆底部与加热炉底部通过轴孔配合连接,稳固性差。
实用新型内容
本实用新型提出了一种坩埚支撑装置,其目的是:(1)避免硅液流到组件相接处,出现凝固后的黏合问题;(2)节省加工托杆部分所使用的材料;(3)提高托杆与加热炉之间连接的稳固性。
本实用新型技术方案如下:
一种坩埚支撑装置,包括埚托和托杆,还包括安装在托杆顶部且用于盛放埚托的连接盘;
所述埚托的底面上设有环形的凸起,所述凸起位于连接盘的外侧。
作为本装置的进一步改进:所述埚托包括平整的中部底面和绕所述中部底面设置的锥形部分;
所述凸起设置在埚托底部的外边缘处,或设置于埚托锥形部分的底面中部。
作为本装置的进一步改进:所述连接盘中部开设有上下贯通的通孔,所述托杆的上端设有与所述通孔相配合的凸止口;
所述凸止口与通孔配合处还钻设有螺纹孔,所述螺纹孔中安装有紧固螺钉。
作为本装置的进一步改进:所述托杆下端为锥形;
所述托杆的芯部设有上下贯通的台阶孔,所述台阶孔的台阶部分位于托杆的下部区域;
所述台阶孔内设置有螺栓。
作为本装置的进一步改进:所述埚托底部中央处设有圆形凸台,所述连接盘顶部中央处设有与所述圆形凸台配合的圆形凹台。
相对于现有技术,本实用新型具有以下积极效果:(1)在埚托底部增设环形的凸起,阻挡溢出的硅液,使硅液沿凸起向下滴落,防止流到组件之间的连接处,造成黏合等不必要的问题;(2)将传统的托杆分为托杆和连接盘两部分,两部分分别下料加工,节省材料;(3)托杆与连接盘之间采用止口结构连接,并安装紧固螺钉,防止二者分离;(4)托杆下端通孔锥形结构与加热炉底配合,并通过螺栓进行连接,确保定位准确,安装稳固。
附图说明
图1为实施例一的结构示意图。
图2为实施例二中凸起部分的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本实用新型的技术方案:
实施例一
如图1,一种坩埚支撑装置,包括埚托1、连接盘2和托杆3。所述埚托1用于盛放坩埚、放置在连接盘2上,所述连接盘2安装在托杆3的顶部。
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