[实用新型]一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置

说明书

本实用新型公开了一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置，包括阀箱本体和泄漏检测器，所述阀箱本体的下表面贯通连接有防漏管，所述阀箱本体的下表面固定连接有活动装置，所述活动装置包括电机，所述电机的顶部与阀箱本体的下表面固定连接，所述电机的下表面固定连接有壳体，所述电机上输出轴的底部固定连接有转轴，所述转轴的底部贯穿壳体并固定连接有斜面圆柱，所述斜面圆柱的斜面朝下。本实用新型，通过上述结构之间的配合使用，解决了在实际使用过程中，由于传统泄漏侦测器的检测范围有限，难以对防漏管进行更加完整的泄漏检测，一旦出现泄漏状况，难以及时的检测出泄漏状况，容易造成污染和伤害，给使用带来不便的问题。

技术领域

本实用新型涉及检测装置技术领域，具体为一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置。

背景技术

随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失,因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。涉及到多种危险化学品输送和应用，例如甲醇、丙酮等，此类化学品都具有高危害性，易燃易爆。

但是现有的有机化学品供应系统的阀箱在处理本体密封，机台拆卸方面都存在着不足，且没有设置防漏措施，容易造成少量泄漏却没有侦测报警，造成污染和伤害，为此人们提出一种如中国专利CN207621454U所公开的一种有机化学品供应系统用阀箱，包括：阀箱本体，阀箱本体通过抛光不锈钢焊接而成；阀箱本体内设有管路区，阀箱本体的底部设置有支撑架和泄漏侦测器。通过上述方式，本实用新型布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。电控区设置推拉门，供安装电控设备和维修用，密封效果好；

但是在实际使用过程中，由于泄漏侦测器的检测范围有限，难以对防漏管进行更加完整的泄漏检测，一旦出现泄漏状况，难以及时的检测出泄漏状况，容易造成污染和伤害，给使用带来不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置，对传统装置进行改进，解决了背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置，包括阀箱本体和泄漏检测器，所述阀箱本体的下表面贯通连接有防漏管，所述阀箱本体的下表面固定连接有活动装置。

所述活动装置包括电机，所述电机的顶部与阀箱本体的下表面固定连接，所述电机的下表面固定连接有壳体，所述电机上输出轴的底部固定连接有转轴，所述转轴的底部贯穿壳体并固定连接有斜面圆柱，所述斜面圆柱的斜面朝下，所述斜面圆柱的下表面滑动连接有压杆，所述压杆的底部贯穿壳体的下表面并固定连接有圆盘，所述压杆的表面套有压簧，所述压簧的两端与圆盘和壳体的相对面固定连接，所述圆盘的左侧固定连接有传动轴，所述传动轴的左端固定连接有套管，所述套管套设在防漏管的表面，所述套管的内壁与泄漏检测器的表面固定连接。

优选的，所述泄漏检测器的数量不少于两个，且在套管内均匀分布。

优选的，所述壳体的上表面固定连接有加固条，所述加固条的顶部与阀箱本体的下表面固定连接。

优选的，所述加固条的数量为两个，且两个加固条以壳体的竖直中心线对称设置。

优选的，所述斜面圆柱的下表面开设有限位导槽，所述压杆的顶部与限位导槽的内壁滑动连接。

优选的，所述压杆的顶部为弧形面，且压杆通过其上的弧形面与限位导槽的内壁滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

一、本实用新型通过活动装置的设置，使得泄漏检测器能够对防漏管进行更为全面的泄漏检测，同时检测更为及时准确，避免危险化学品的大规模泄漏；