[实用新型]立式氧化镓生长炉

权利要求书

1.一种立式氧化镓生长炉，其特征在于：包括

炉膛，其由加热温度不同的上炉膛和下炉膛组成；

石英管，其包括贯穿设置在上炉膛和下炉膛内的外管，所述外管内套接有通过水平连接板固定的内管，所述水平连接板上开设有透气孔，所述内管内设置有位于中部的搁板，所述搁板上放置有用于盛装镓催化剂的坩埚，内管的两端分别位于上炉膛的顶部开口处和下炉膛的中部；

封堵部，其包括设置在外管两端的上水冷法兰和下水冷法兰，所述上水冷法兰上设置有上盖合法兰，所述上盖合法兰上通过吊丝连接有位于内管顶部的上石英隔热塞；所述下水冷法兰通过中间法兰和下盖合法兰相连，所述中间法兰通过卡箍与下盖合法兰活动相连，所述下盖合法兰上设置有向顶部延伸设置的刚玉棒，所述刚玉棒上套接有位于外管底部的下石英隔热塞，刚玉棒顶部设置有用于放置蓝宝石片的石英托盘，所述石英托盘与内管底部相距1-3mm；

通气部，其包括穿过上盖合法兰和上石英隔热塞设置的第一进气石英管和第二进气石英管，所述第一进气石英管的出口端位于内管中并靠近所述坩埚设置，所述第二进气石英管的出口端位于内管和外管之间并靠近第一块所述水平连接板设置；还包括设置在下盖合法兰上的出气管和抽真空管。

2.根据权利要求1所述的立式氧化镓生长炉，其特征在于：所述刚玉棒通过骑马卡与下盖合法兰连接。

3.根据权利要求1所述的立式氧化镓生长炉，其特征在于：所述中间法兰和下盖合法兰之间设置有密封圈，所述卡箍为链式快拆卡箍。

4.根据权利要求1所述的立式氧化镓生长炉，其特征在于：所述第一进气石英管和第二进气石英管均通过快装不锈钢法兰与上盖合法兰相连。

5.根据权利要求1所述的立式氧化镓生长炉，其特征在于：所述刚玉棒为三根。

6.根据权利要求1所述的立式氧化镓生长炉，其特征在于：所述下盖合法兰与手动滚珠丝杠式升降机构相连。

7.根据权利要求1所述的立式氧化镓生长炉，其特征在于：所述第一进气石英管的进口端设置有压力表。

8.根据权利要求1所述的立式氧化镓生长炉，其特征在于：所述石英托盘与内管底部相距2mm。