[实用新型]平面度检测装置有效
| 申请号： | 202020244078.9 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN211824254U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 陈瑞光;刘红霞;杨海全 | 申请（专利权）人： | 深圳市东方亮彩精密技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 邢若兰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭头社区第三工业区A3栋101潭头社区第三工*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 检测 装置 | ||
1.平面度检测装置，其特征在于，包括上治具(1)和下治具(2)，所述上治具(1)能够相对所述下治具(2)运动，所述上治具(1)设有检测面(11)，所述下治具(2)设有基准面(22)，所述检测面(11)与第一电极连接，所述基准面(22)与第二电极连接；
所述下治具(2)运动至检测位置时，所述检测面(11)与所述基准面(22)留有绝缘间隙。
2.根据权利要求1所述平面度检测装置，其特征在于，所述下治具(2)设有固定台(21)，所述固定台(21)的上表面构成所述基准面(22)。
3.根据权利要求1所述平面度检测装置，其特征在于，所述上治具(1)设有预压柱(12)。
4.根据权利要求1所述平面度检测装置，其特征在于，所述上治具(1)通过驱动件(3)实现运动。
5.根据权利要求4所述平面度检测装置，其特征在于，所述驱动件(3)为缸体或电推杆。
6.根据权利要求1所述平面度检测装置，其特征在于，还包括导柱(4)和底座(7)，导柱(4)的一端与所述底座(7)连接，导柱(4)的另一端与顶板(5)连接，所述上治具(1)设有与所述导柱(4)相配合的导孔。
7.根据权利要求6所述平面度检测装置，其特征在于，所述底座(7)设有安全光栅(6)。
8.根据权利要求1所述平面度检测装置，其特征在于，所述检测面(11)的形状与工件(8)的被测平面的形状相同。
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