[实用新型]一种低真空高温载气循环泵

权利要求书

1.一种低真空高温载气循环泵，其特征在于，包括为高温气体提供驱动力的动力叶片(8)和受低温气源驱动而发生转动的驱动叶片(5)，所述驱动叶片(5)通过传动组件驱动所述动力叶片(8)旋转，所述动力叶片(8)和所述驱动叶片(5)分别位于相互独立的输出驱动腔体(3)和气体驱动腔体(1)内。

2.如权利要求1所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述传动组件包括连接轴(9)、转轴(10)和传动伞轮组(7)。

3.如权利要求2所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述传动伞轮组(7)包括相互啮合的第一伞轮(7-1)和第二伞轮(7-2)，所述连接轴(9)的一端与所述驱动叶片(5)的中心固定连接随所述驱动叶片(5)转动而转动，另一端与所述第一伞轮(7-1)固定连接带动所述第一伞轮(7-1)转动；所述转轴(10)一端与所述第二伞轮(7-2)固定连接，另一端与所述动力叶片(8)固定连接。

4.如权利要求1所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述气体驱动腔体(1)上设置有用于输入和输出所述低温气源的进气口(4)和出气口(6)。

5.如权利要求4所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述进气口(4)和出气口(6)分别位于所述气体驱动腔体(1)同侧的上下两端。

6.如权利要求2所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述传动组件还包括套装在所述连接轴(9)外部的连接轴腔体(2)，所述连接轴腔体(2)的两端分别与所述气体驱动腔体(1)和输出驱动腔体(3)的外壁密封连接，所述连接轴(9)的底端穿过形成在所述输出驱动腔体(3)侧壁上的开口进入所述输出驱动腔体(3)内，另一端穿过形成在所述气体驱动腔体(1)侧壁上的开口进入所述气体驱动腔体(1)内。

7.如权利要求6所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述输出驱动腔体(3)为两端开口的桶状结构。

8.如权利要求7所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述传动伞轮组(7)和转轴(10)均设置在所述输出驱动腔体(3)内。

9.如权利要求8所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，所述输出驱动腔体(3)、动力叶片(8)、传动伞轮组(7)和转轴(10)的材质包括石英或不锈钢。

10.如权利要求9所述的低真空高温载气循环泵，其特征在于，当所述高温气体为惰性气体时，所述输出驱动腔体(3)、动力叶片(8)、传动伞轮组(7)和转轴(10)的材质为不锈钢；当所述高温气体为氯化氢气体时，所述输出驱动腔体(3)、动力叶片(8)、传动伞轮组(7)和转轴(10)的材质为石英。