[实用新型]一种纳米尺度光电响应的测量系统有效
| 申请号： | 202020255864.9 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN211784198U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈庚亮;席宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黎扬鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 尺度 光电 响应 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米尺度光电响应的测量系统，其特征在于，包括激励光源、纳米探针传感器、纳米移动平台和控制模块，所述纳米探针传感器包括纳米悬臂和纳米探针，所述纳米移动平台与纳米悬臂刚性相连，所述控制模块与纳米移动平台连接，所述纳米探针在光电器件上方。
2.根据权利要求1所述的一种纳米尺度光电响应的测量系统，其特征在于，所述激励光源采用连续谱光纤激光器。
3.根据权利要求1所述的一种纳米尺度光电响应的测量系统，其特征在于，所述控制模块包括原子力显微镜。
4.根据权利要求1所述的一种纳米尺度光电响应的测量系统，其特征在于，所述纳米移动平台内设有多个制动器。
5.根据权利要求1所述的一种纳米尺度光电响应的测量系统，其特征在于，所述纳米探针的针尖尺寸为1-10纳米。
6.根据权利要求1所述的一种纳米尺度光电响应的测量系统，其特征在于，所述光电器件包括外部引脚和光敏区域。
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