[实用新型]可调谐滤波器、游标滤波器及可调谐激光器

权利要求书

1.一种可调谐滤波器，包括具有热光效应的光学平板，所述光学平板具有相对的两个光学平面，所述两个光学平面均设有部分反射膜；其特征在于：所述光学平板上设有通光区域和图形化的加热电阻丝和测温电阻丝，所述加热电阻丝的两端设有加热电极，所述测温电阻丝的两端设有测温电极。

2.根据权利要求1所述的可调谐滤波器，其特征在于：所述加热电阻丝和/或所述测温电阻丝镀于所述光学平面上或埋设于所述光学平板内。

3.根据权利要求2所述的可调谐滤波器，其特征在于：所述加热电阻丝和所述测温电阻丝分别镀于不同的光学平面上；或者，两个所述光学平面上均设有所述加热电阻丝和所述测温电阻丝。

4.根据权利要求2所述的可调谐滤波器，其特征在于：所述加热电极和/或所述测温电极设于所述光学平板的侧面。

5.根据权利要求1所述的可调谐滤波器，其特征在于：所述部分反射膜的反射率在70％～95％。

6.根据权利要求1-5任一项所述的可调谐滤波器，其特征在于：所述光学平板为硅平板。

7.根据权利要求6所述的可调谐滤波器，其特征在于：所述硅平板的厚度在100～150μm范围内。

8.一种游标滤波器，包括至少两个可调谐滤波器，其特征在于：所述可调谐滤波器为权利要求1-7任一项所述的可调谐滤波器，两个所述可调谐滤波器具有不同的自由光谱范围。

9.根据权利要求8所述的游标滤波器，其特征在于：所述游标滤波器还包括一安装台，所述安装台具有一上表面，所述上表面设有导电线路；所述可调谐滤波器设于所述安装台的上表面上，所述加热电极和测温电极分别与相应的所述导电线路电性连接。

10.根据权利要求9所述的游标滤波器，其特征在于：所述安装台包括一安装板和设于所述安装板下面的支撑架。

11.一种可调谐激光器，包括壳体、设于壳体内的激光谐振腔、设于激光谐振腔内的增益芯片、可调谐滤波组件和外腔反射镜；其特征在于：所述可调谐滤波器组件包括权利要求8-10任一项所述的游标滤波器。