[实用新型]微型致动器

说明书

本实用新型公开了一种微型致动器，其包括致动器主体，致动器主体内间隔设置有复数条导流槽，导流槽的两侧壁上沿导流槽的长度方向设置有驱动电极；盖板，盖板盖合于致动器主体的顶面并封堵复数个导流槽的上部开口，从而形成复数个致动器腔室；以及端板膜，端板膜上设置有复数个喷孔，每个喷孔均与导流槽的出口端连通，端板膜包括层叠设置的金属端板膜和绝缘材料膜层，绝缘材料膜层设置于金属端板膜与导流槽相对一侧的表面。本实用新型实施例提供的微型致动器，在金属端板膜靠近电极的一侧设置液体聚酰亚胺膜，改善了由于锆钛酸铅压电陶瓷形变而与端板膜之间粘结性变差的情况；并且液体聚酰亚胺膜能够防止电极与金属端板膜接触而短路。

技术领域

本实用新型特别涉及一种微型致动器，属于机械设备技术领域。

背景技术

压电致动器得到了广泛的应用。压电致动器包括分别形成在压电层侧壁的的电极。当电压加在压电层的两个侧壁时，形成压电层的材料发生形变。通过控制电极之间的电压波形，可以改变压电层发生形变。该致动器有多个独立的带电极的压电层腔室，当施加驱动时可以控制各个腔室独立工作。压电致动器的其中一个用途是，驱动墨滴产生装置的喷墨头，比如说，驱动喷墨打印机中的喷墨头。现有技术中的喷墨头，具有多个供墨通道及压电致动器。每一个供墨通道与一个喷嘴相连。通过激发压电致动器，特定的喷嘴可以喷出墨滴。本实用新型提供的改良的微型致动器中的带喷嘴的金属端板，避免驱动电极与金属端面膜的接触，从而避免了由于驱动电极与金属端面膜直接接触而导致的短路问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种微型致动器，以克服现有技术的不足。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种微型致动器，其包括：

致动器主体，所述致动器主体具有相对设置的第一端面、第二端面，所述致动器主体内间隔设置有复数条导流槽，所述导流槽的两端分别从第一端面、第二端面露出而形成入口端和出口端，所述导流槽的两侧壁上沿导流槽的长度方向设置有驱动电极，至少所述驱动电极的一端与导流槽的出口端端面齐平；

盖板，所述盖板盖合于致动器主体的顶面并封堵复数个所述导流槽的上部开口，从而形成复数个致动器腔室；以及

端板膜，其固定设置于致动器主体的第一端面，且所述端板膜上设置有复数个喷孔，每个所述喷孔均与导流槽的出口端连通，所述端板膜包括层叠设置的金属端板膜和绝缘材料膜层，所述绝缘材料膜层设置于金属端板膜与导流槽相对一侧的表面。

进一步的，所述金属端板膜包括不锈钢膜或合金膜。

进一步的，所述绝缘材料膜层包括液体聚酰亚胺膜。

进一步的，所述绝缘材料膜层的厚度不小于5微米。

进一步的，所述喷孔的孔径为15-70微米。

进一步的，复数条所述导流槽平行设置。

更进一步的，复数个所述喷孔的孔径相同，且孔心位于同一水平线上。

更进一步的，所述致动器主体为锆钛酸铅压电陶瓷方块。

更进一步的，所述驱动电极的宽度与导流槽的深度之比为1:2。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的微型致动器，结构简单，采用金属端板膜提高了端板膜的耐用性；在金属端板膜靠近电极的一侧以光刻遮挡镀膜或直接喷涂的方式形成一层液体聚酰亚胺膜，改善了由于锆钛酸铅压电陶瓷形变而与端板膜之间粘结性变差的情况；并且液体聚酰亚胺膜能够防止电极与金属端板膜接触而短路。

附图说明

图1是本实用新型一典型实施案例中一种微型致动器的结构示意图；