[实用新型]一种提高单晶硅拉速的冷却装置

权利要求书

1.一种提高单晶硅拉速的冷却装置，包括水冷内导(1)、进水管道(3)、出水管道(4)，所述进水管道(3)与所述出水管道(4)相对固定设于所述水冷内导(1)的上部两侧，其特征在于：所述水冷内导(1)的内表面设置多个格栅(2)。

2.根据权利要求1所述的一种提高单晶硅拉速的冷却装置，其特征在于：所述格栅(2)沿水冷内导(1)直径方向均匀固定在水冷内导(1)的内表面。

3.根据权利要求1或2所述的一种提高单晶硅拉速的冷却装置，其特征在于：所述水冷内导(1)为上部开口大底部开口小的环状结构，所述环状结构中设有中空腔体，所述环状结构的上部相对设置有进水口和出水口，所述进水口与所述进水管道(3)固定连接，所述出水口与所述出水管道(4)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种提高单晶硅拉速的冷却装置，其特征在于：所述水冷内导(1)的环状结构为锥形结构。

5.根据权利要求1或2所述的一种提高单晶硅拉速的冷却装置，其特征在于：所述进水管道(3)与所述出水管道(4)下部分别设有悬挂杆(5)，所述悬挂杆将所述水冷内导(1)与导流筒固定连接。