[实用新型]基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔有效
| 申请号： | 202020267968.1 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN211552729U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 司文荣;虞益挺;傅晨钊;李浩勇;吴旭涛;陆启宇;黄华;王谢君;徐梦飞;黄昊;李秀广;梁基重;药炜;何宁辉;周秀;马飞越;陈川;刘昕;袁鹏 | 申请（专利权）人： | 国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网山西省电力公司;全球能源互联网研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B6/293 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 应小波 |
| 地址： | 200122 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 梅花 光纤 mems 光束 干涉 | ||
1.一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，包括梅花型光纤(1)、引导孔(2)、支撑框架(3)、孔肩(4)、干涉腔本体(5)、敏感膜片(6)、第一反射层(7)和第二反射层(8)；所述梅花型光纤(1)包括中心光纤(9)和环绕光纤(10)；
所述梅花型光纤(1)固接在引导孔(2)中并与第二反射层(8)相连接，所述的中心光纤(9)与第一反射层(7)中心对准，所述的环绕光纤(10)与第二反射层(8)相连接，所述第二反射层(8)设在引导孔(2)底部和干涉腔本体(5)构成的孔肩(4)上，所述干涉腔本体(5)设在引导孔(2)的底部且与引导孔(2)的中心同轴，所述敏感膜片(6)制作在干涉腔本体(5)的底部并与支撑框架(3)连接，所述第一反射层(7)设在敏感膜片(6)上。
2.根据权利要求1所述的一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述敏感膜片(6)与梅花型光纤(1)端面之间的距离通过干涉腔本体(5)的长度控制。
3.根据权利要求1所述的一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述梅花型光纤(1)采用N-1根环绕光纤(10)绕1根中心光纤(9)圆周均布的方式排列。
4.根据权利要求3所述的一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述N为5。
5.根据权利要求3所述的一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述N为9。
6.根据权利要求1所述的一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述引导孔(2)、支撑框架(3)、孔肩(4)、干涉腔本体(5)、敏感膜片(6)均为通过干法刻蚀或者湿法腐蚀硅片、氧化硅片、氮化硅片、SOI片的材料整体制作而成的部件。
7.根据权利要求1所述的一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述第一反射层(7)为通过蒸镀或磁控溅射金、银、铝的材料制作而成的部件。
8.根据权利要求1所述的一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述第二反射层(8)为通过蒸镀或磁控溅射金、银、铝的材料制作而成的部件。
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