[实用新型]一种防异物MEMS麦克风

权利要求书

1.一种防异物MEMS麦克风，其特征在于：包括PCB基板、MEMS芯片、ASIC芯片、键合线和外壳；所述外壳设为第一壳体和第二壳体，所述第二壳体设在第一壳体的外层，第一壳体上设有声孔A，第二壳体上设有声孔B，所述第一壳体上的声孔A上还有滤网；所述MEMS芯片和ASIC芯片分别通过粘合剂固定在PCB基板的底部；所述MEMS芯片、ASIC芯片和PCB基板之间通过键合线实现电气连接；第一壳体的一壁和第二壳体的上壁是成一体的，另一壁开设空腔结构，空腔结构设在第一壳体声孔A的下方，第二壳体的声孔B与声孔A在同一侧。

2.根据权利要求1所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述声孔B成向下倾槽型。

3.根据权利要求2所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述声孔A和声孔B采用错位设置。

4.根据权利要求1所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述滤网为经过Plasma涂层处理过的网。

5.根据权利要求1所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述PCB基板的外周上设有焊环。

6.根据权利要求5所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述第一壳体和第二壳体使用锡膏贴装至PCB基板的焊环处。

7.根据权利要求1所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS芯片通过硅胶固定在PCB基板底部。

8.根据权利要求1所述防异物MEMS麦克风，其特征在于：所述ASIC芯片通过环氧胶固定在PCB基板底部。