[实用新型]一种旋转式气体分布器

权利要求书

1.一种旋转式气体分布器，包括安装在碳化釜内的气体分布器本体，所述碳化釜内设有碳化腔，所述碳化釜上设有电机，所述电机在碳化腔内安装有转轴，其特征在于，还包括第一支架、金属分散罩和高密度聚乙烯分散罩，所述金属分散罩套接在高密度聚乙烯分散罩的外周，所述第一支架安装在金属分散罩的上端，所述第一支架固定在转轴的下端，所述金属分散罩和高密度聚乙烯分散罩之间贯穿设有第一通孔。

2.如权利要求1所述的旋转式气体分布器，其特征在于，所述高密度聚乙烯分散罩内顶部安装有第二支架，所述第二支架相对的一侧均设有传输管，所述传输管内设有第二分散孔，所述第二支架相对的一侧安装有导流罩，所述导流罩与第二支架之间连接有螺栓，所述导流罩、第二支架和高密度聚乙烯分散罩之间形成导流腔。

3.如权利要求2所述的旋转式气体分布器，其特征在于，所述导流罩的内底部安装有第三支架，所述第三支架上端周向上安装有环形导流板。

4.如权利要求3所述的旋转式气体分布器，其特征在于，所述导流罩内底部与高密度聚乙烯分散罩之间的间距为h2，所述第三支架与高密度聚乙烯分散罩之间的间距为h1，h1≤1/2h2。

5.如权利要求2所述的旋转式气体分布器，其特征在于，所述传输管与高密度聚乙烯分散罩之间的间距为L，15cm≤L≤35cm。

6.如权利要求1所述的旋转式气体分布器，其特征在于，所述第一支架之间安装有第五支架，所述第五支架上安装有第一配重箱，所述第一配重箱内设有第一配重块。

7.如权利要求2所述的旋转式气体分布器，其特征在于，所述导流罩的下端安装有第二配重箱，所述第二配重箱内设有第二配重块。