[实用新型]一种石英舟清洗机储液槽药液循环使用装置有效
申请号: | 202020271901.5 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN212597513U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 张敬海;任立国 | 申请(专利权)人: | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B13/00 |
代理公司: | 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 | 代理人: | 李玉平 |
地址: | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 清洗 机储液槽 药液 循环 使用 装置 | ||
1.一种石英舟清洗机储液槽药液循环使用装置,包括石英舟清洗机,其特征在于:增设储液槽,所述储液槽分别通过两个管道单元与清洗槽连通;
所述两个管道单元中,其中一个管道单元包括第一循环泵浦、第一管道和第二管道,第一管道的一端安装在清洗槽的底部,另一端与第一循环泵浦连接,第二管道的一端设在储液槽的上部,另一端与第一循环泵浦连接;另一个管道单元包括第二循环泵浦、第三管道和第四管道,第三管道的一端安装在储液槽的底部,另一端与第二循环泵浦连接,第四管道的一端设在清洗槽的上部,另一端与第二循环泵浦连接。
2.如权利要求1所述的石英舟清洗机储液槽药液循环使用装置,其特征在于:所述储液槽和清洗槽均安装在一个底部托盘上。
3.如权利要求1所述的石英舟清洗机储液槽药液循环使用装置,其特征在于:所述第一循环泵浦和第二循环泵浦设在底部托盘上。
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