[实用新型]PECVD射频电极通断切换系统及PECVD装置

权利要求书

1.一种PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，包括静触端(1)、动触端(2)和驱动件，所述静触端(1)和所述动触端(2)中的一个与馈入电极(5)连接，另一个与射频电极片(4)连接；

所述动触端(2)具有间隔设置的第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端(2)连接，以驱动所述动触端(2)在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)面接触，当所述动触端(2)位于所述第二位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)分离。

2.根据权利要求1所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，所述动触端(2)和所述静触端(1)中的一个包括插片(21)，另一个设有插槽(13)，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，所述插片(21)与所述插槽(13)插接，且所述插片(21)与所述插槽(13)的槽壁贴合。

3.根据权利要求2所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，所述动触端(2)包括插片(21)，所述静触端(1)设有插槽(13)；

所述动触端(2)还包括设置于所述驱动件上的第一底座(22)，所述插片(21)置于所述第一底座(22)，所述第一底座(22)与所述射频电极片(4)连接；

所述静触端(1)还包括与所述馈入电极(5)连接的第二底座(8)，和间隔且相对设置于所述第二底座(8)上的两个弹性片(12)，两个所述弹性片(12)之间形成所述插槽(13)，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，两个所述弹性片(12)均能够抵紧所述插片(21)。

4.根据权利要求3所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，所述插片(21)具有与所述第一底座(22)固接的第一端和用于和所述插槽(13)插接的第二端，所述第二端设有能引导所述第二端进入所述插槽(13)的导向斜面或导向弧面(211)。

5.根据权利要求3所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，所述弹性片(12)包括与所述第二底座(8)连接的支撑片(121)，以及连接于所述支撑片(121)的弧形片(122)，两个所述弹性片(12)的所述弧形片(122)之间形成所述插槽(13)，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，两个所述弧形片(122)均能够抵紧所述插片(21)。

6.根据权利要求5所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，两个所述支撑片(121)之间的间距在沿所述插片(21)插入所述插槽(13)的方向上逐渐变大。

7.根据权利要求3所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，所述PECVD射频电极通断切换系统还包括弹性连接件(6)，所述弹性连接件(6)连接所述第一底座(22)和所述射频电极片(4)，所述弹性连接件(6)具有驱动所述动触端(2)由所述第一位置向所述第二位置移动的趋势。

8.根据权利要求7所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，所述弹性连接件(6)呈几字形且由金属片折弯而成，所述弹性连接件(6)的两个自由端中的一个与所述射频电极片(4)连接，另一个与所述第一底座(22)连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的PECVD射频电极通断切换系统，其特征在于，所述驱动件为气缸(3)。

10.一种PECVD装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的PECVD射频电极通断切换系统。