[实用新型]一种铜粉表面气相沉积碳的装置有效
申请号: | 202020281789.3 | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN211872080U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 冯岳军;巨佳;陈立群;卞方宏;冉文强 | 申请(专利权)人: | 江阴电工合金股份有限公司;南京工程学院 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;B22F1/02 |
代理公司: | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人: | 隋玲玲 |
地址: | 214423 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 沉积 装置 | ||
1.一种铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:包括振动底座(1)和密封工作筒体(2),所述密封工作筒体(2)的外侧和顶端均设有隔热板(3),所述密封工作筒体(2)的顶端设有铜粉进口(4),铜粉进口(4)与一侧设有废气出口(5)的铜粉缓释区(6)连接,所述废气出口(5)上设有废气出口挡板(7),所述铜粉缓释区(6)经1000目振动筛(8)与加热区(9)连接,所述加热区(9)包括第一加热区(10)、第二加热区(11)、第三加热区(12)、第四加热区(13)和第五加热区(14),所述第一加热区(10)的一侧设有具有加热丝盖板(15)的加热丝(16),所述第二加热区(11)和第三加热区(12)的顶面均设有5000目振动筛(17),所述第四加热区(13)和第五加热区(14)的顶面均设有8000目振动筛(18),所述第五加热区(14)的底面经10000目振动筛(19)与两侧均设有甲烷进气口(20)的复合材料沉降区(21)连接、所述复合材料沉降区(21)与回收盘(22)连接。
2.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述振动底座(1)和密封工作筒体(2)均为圆柱体。
3.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述第一加热区(10)、第二加热区(11)、第三加热区(12)、第四加热区(13)和第五加热区(14)中设有不同匝数的电阻丝。
4.根据权利要求1或3所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述第一加热区(10)为铜粉脱水区,第二加热区(11)为铜粉预热区,第三加热区(12)为反应区,第四加热区(13)为气体预热区,第五加热区(14)为气体脱水区。
5.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述甲烷进气口(20)设置有气体流量计(23)。
6.根据权利要求1或5所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述甲烷进气口(20)为斜插式进气口。
7.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述密封工作筒体(2)内嵌设有隔热棉(24)。
8.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在:所述铜粉进口(4)设置有密封罩。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的