[实用新型]一种铜粉表面气相沉积碳的装置有效

专利信息
申请号: 202020281789.3 申请日: 2020-03-10
公开(公告)号: CN211872080U 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 冯岳军;巨佳;陈立群;卞方宏;冉文强 申请(专利权)人: 江阴电工合金股份有限公司;南京工程学院
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;B22F1/02
代理公司: 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 代理人: 隋玲玲
地址: 214423 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 表面 沉积 装置
【权利要求书】:

1.一种铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:包括振动底座(1)和密封工作筒体(2),所述密封工作筒体(2)的外侧和顶端均设有隔热板(3),所述密封工作筒体(2)的顶端设有铜粉进口(4),铜粉进口(4)与一侧设有废气出口(5)的铜粉缓释区(6)连接,所述废气出口(5)上设有废气出口挡板(7),所述铜粉缓释区(6)经1000目振动筛(8)与加热区(9)连接,所述加热区(9)包括第一加热区(10)、第二加热区(11)、第三加热区(12)、第四加热区(13)和第五加热区(14),所述第一加热区(10)的一侧设有具有加热丝盖板(15)的加热丝(16),所述第二加热区(11)和第三加热区(12)的顶面均设有5000目振动筛(17),所述第四加热区(13)和第五加热区(14)的顶面均设有8000目振动筛(18),所述第五加热区(14)的底面经10000目振动筛(19)与两侧均设有甲烷进气口(20)的复合材料沉降区(21)连接、所述复合材料沉降区(21)与回收盘(22)连接。

2.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述振动底座(1)和密封工作筒体(2)均为圆柱体。

3.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述第一加热区(10)、第二加热区(11)、第三加热区(12)、第四加热区(13)和第五加热区(14)中设有不同匝数的电阻丝。

4.根据权利要求1或3所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述第一加热区(10)为铜粉脱水区,第二加热区(11)为铜粉预热区,第三加热区(12)为反应区,第四加热区(13)为气体预热区,第五加热区(14)为气体脱水区。

5.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述甲烷进气口(20)设置有气体流量计(23)。

6.根据权利要求1或5所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述甲烷进气口(20)为斜插式进气口。

7.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在于:所述密封工作筒体(2)内嵌设有隔热棉(24)。

8.根据权利要求1所述的铜粉表面气相沉积碳的装置,其特征在:所述铜粉进口(4)设置有密封罩。

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