[实用新型]单晶炉防护底盘有效
申请号: | 202020290994.6 | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN211848203U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 马成;王忠保 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 防护 底盘 | ||
一种单晶炉防护底盘,涉及单晶炉部件技术领域,位于单晶炉的底部,包括断热材、防漏盘,断热材与防漏盘可拆卸连接;断热材与防漏盘可拆卸连接,在断热材使用一段时间后能够将断热材直接拆下防漏盘进行更换,节约材料;断热材的结构设计使其能够插入连接孔与防漏盘连接,容易拆卸,更换方便。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉部件技术领域,具体涉及一种单晶炉防护底盘。
背景技术
单晶炉的防护底盘是起到保温作用的部件,能够降低单晶炉在拉晶过程中的功率损耗,从而降低成本并增加热场部件寿命。
现有的防护底盘是一体的,即防护底盘的防漏盘和断热材是无法分离的,长时间使用会导致断热材破损,保温不足,因此就需要经常更换,但是现有的防护底盘的设置使得更换断热材就需要将整个防护底盘一起更换,这无疑造成资源的浪费。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种可拆卸分离以方便更换的单晶炉防护底盘。
一种单晶炉防护底盘,位于单晶炉的底部,包括断热材、防漏盘,断热材与防漏盘可拆卸连接;断热材为筒状,断热材包括由上至下依次固定连接且同轴同心的定位段及连接段,定位段与连接段的内径相同,定位段的外径大于连接段的外径;防漏盘上开设有连接孔,连接孔的直径与连接段的外径相适配,且连接孔的直径小于定位段的外径,连接段由上至下插入连接孔,定位段位于连接孔的外部,且定位段搭接在防漏盘上,以防止连接段穿过连接孔并脱离防漏盘。
优选的,防漏盘上套设有连接卡环,连接卡环与单晶炉连接。
优选的,连接孔包括石墨中轴孔、主电极孔、侧电极孔、排气孔,石墨中轴孔位于防漏盘的正中央,连接孔将单晶炉的内部及外部连通。
优选的,断热材还包括卡接段,卡接段与连接段固定连接且两者同轴同心,卡接段位于连接段的下部,卡接段的外径与连接段的外径相同,卡接段的内径大于连接段的内径。
优选的,连接段与卡接段的长度之和不大于防漏盘的厚度。
优选的,定位段及连接段两者的内径均为110±1mm,连接段及卡接段两者的外径均为140±1mm;定位段的外径为150±1mm、长度为110±2mm,连接段的长度为80±2mm,卡接段的内径为124±1mm、长度为10mm。
优选的,石墨中轴孔为1个,主电极孔为4个,侧电极孔为2个,排气孔为2个。
优选的,断热材的数量与连接孔的数量相适配。
本实用新型采用上述技术方案,其有益效果在于:断热材与防漏盘可拆卸连接,在断热材使用一段时间后能够将断热材直接拆下防漏盘进行更换,节约材料;断热材的结构设计使其能够插入连接孔与防漏盘连接,容易拆卸,更换方便。
附图说明
图1为单晶炉防护底盘的结构示意图。
图2为图1中一个角度的剖视图。
图3为防漏盘的结构示意图。
图4为第一种断热材的结构示意图。
图5为第一种断热材另一个角度的结构示意图。
图6为第一种断热材的纵向剖面图。
图7为第二种断热材的结构示意图。
图8为第二种断热材另一个角度的结构示意图。
图9为第二种断热材的纵向剖面图。
图10为第三种断热材的结构示意图。
图11为第三种断热材的纵向剖面图。
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