[实用新型]氩尾气回收净化系统

权利要求书

1.一种氩尾气回收净化系统，用于回收净化含氧、氮、一氧化碳、碳氢化合物的氩尾气，其特征在于：所述氩尾气回收净化系统包括氩尾气收集装置和氩尾气净化精制装置；

所述氩尾气收集装置包括：

过滤单元，所述过滤单元与氩气使用端相连接，用于去除由氩气使用端收集的氩尾气中的固体颗粒物得到初步过滤后的氩尾气；

加压单元，所述加压单元与所述过滤单元相连接，用于将所述初步过滤后的氩尾气加压到额定压力得到加压后的氩尾气；

所述氩尾气净化精制装置包括：

催化单元，所述催化单元与所述加压单元相连接，用于催化所述加压后的氩尾气中的氧、一氧化碳、碳氢化合物，得到催化后的氩尾气；

吸附单元，所述吸附单元与所述催化单元相连接，用于吸附所述催化后的氩尾气中的二氧化碳和水，得到吸附后的氩尾气；

脱氮单元，所述脱氮单元与所述吸附单元相连接，用于脱除所述吸附后的氩尾气中的部分氮，得到脱氮后的氩尾气；

精馏单元，所述精馏单元与所述脱氮单元相连接，用于精馏所述脱氮后的氩尾气，得到高纯氩。

2.根据权利要求1所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：所述过滤单元包括与所述氩气使用端相连接的过滤器、与所述过滤器相连接的缓冲罐；

所述加压单元包括与所述缓冲罐相连接的压缩机、与所述压缩机相连接的高压气体长管。

3.根据权利要求2所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：加压单元一用一备地设置两套。

4.根据权利要求1所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：所述催化单元包括将所述加压后的氩尾气加热到额定温度的加热模块、与所述加热模块相连接的催化炉。

5.根据权利要求4所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：所述加热模块包括回热器、与所述回热器相连接的氩尾气加热器，所述催化炉的进气端与所述氩尾气加热器相连接，且所述催化炉的出气端回连至所述回热器。

6.根据权利要求1所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：所述吸附单元包括将所述催化后的氩尾气降温的降温模块、与所述降温模块相连接的吸附模块。

7.根据权利要求6所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：所述吸附模块包括两个交替进行吸附和再生的吸附筒、用于加热来自空分设备且通入所述吸附筒中的再生气的再生气加热器。

8.根据权利要求1所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：所述脱氮单元包括将所述吸附后的氩尾气降温到设定温度的换热器、与所述换热模块相连接的脱氮塔。

9.根据权利要求1所述的氩尾气回收净化系统，其特征在于：所述精馏单元包括精馏所述脱氮后的氩尾气得到粗氩气的空分设备粗氩塔、精馏所述粗氩气得到所述高纯氩的空分设备精氩塔。