[实用新型]一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置有效

专利信息
申请号: 202020293552.7 申请日: 2020-03-11
公开(公告)号: CN211979050U 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 李应龙 申请(专利权)人: 天水天光半导体有限责任公司
主分类号: G01R27/22 分类号: G01R27/22
代理公司: 兰州锦知源专利代理事务所(普通合伙) 62204 代理人: 勾昌羽
地址: 741000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 集成电路 清洗 离子水 电阻率 检测 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种集成电路生产用检测装置,具体涉及一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。包括离子水排液管、检测竖管和液体介质电阻率检测仪,所述离子水排液管由依次连接的进液横管、排液竖管、排液横管组成,所述检测竖管两端分别与进液横管和排液横管的管身连通,所述检测竖管与排液横管的连通端设有阻水阀,所述液体介质电阻率检测仪的感应探头伸入检测竖管内。本实用新型在离子水排液管的管段上加装检测竖管,检测竖管对离子水进行收集并排出其内空气,最大化降低空气对离子水的影响,保证液体介质电阻率检测仪的电阻检测的准确性。

技术领域

本实用新型涉及一种集成电路生产用检测装置,具体涉及一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。

背景技术

在集成电路的生产过程中,需要大量的离子水进行清洗,并在清洗后检测离子水的电阻率,一般要求离子水电阻率大于15MΩ.CM,现有的检测手段一般在离子水排液管内安装电阻率检测探头,电阻率检测探头直接对离子水排液管内流动的离子水直接进行检测,由于离子水排液管内有大量空气,离子水流动过程受空气氧化影响,使得电阻率检测仪器测量结果不准。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题提供一种测量准确的集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。

本实用新型的具体技术方案如下:

一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置,包括离子水排液管、检测竖管和液体介质电阻率检测仪,所述离子水排液管由依次连接的进液横管、排液竖管、排液横管组成,所述检测竖管两端分别与进液横管和排液横管的管身连通,所述检测竖管与排液横管的连通端设有阻水阀,所述液体介质电阻率检测仪的感应探头伸入检测竖管内。

进一步的,所述检测竖管为S形弯管;

进一步的,所述检测竖管与排液横管的连通端为连接支管,所述连接支管的两端分别与检测竖管与排液横管的管身连通,所述连接支管与检测竖管的连接口高于感应探头。

本实用新型具有以下有益效果:

本实用新型在离子水排液管的管段上加装检测竖管,检测竖管对离子水进行收集并排出其内空气,最大化降低空气对离子水的影响,保证液体介质电阻率检测仪的电阻检测的准确性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示的一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置,包括离子水排液管1、检测竖管2和液体介质电阻率检测仪3,所述离子水排液管1由依次连接的进液横管1-1、排液竖管1-2、排液横管1-3组成,所述检测竖管2两端分别与进液横管1-1和排液横管1-3的管身连通,所述检测竖管2与排液横管1-3的连通端设有阻水阀4,所述液体介质电阻率检测仪3的感应探头5伸入检测竖管2内,所述检测竖管2为S形弯管,所述检测竖管2与排液横管1-3的连通端为连接支管6,所述连接支管6的两端分别与检测竖管2和排液横管1-3的管身连通,所述连接支管6与检测竖管2的连接口高于感应探头5。

本实用新型的具体工作过程如下:

离子水排液管1的进液横管1-1进液口与离子水盛接容器连接,清洗集成电路后的离子水汇集进入离子水盛接容器内,离子水再由进液横管1-1流入检测竖管2内,此时阻水阀4为关闭状态,检测竖管2充满离子水后,感应探头5对检测竖管2内的离子水进行检测,液体介质电阻率检测仪3分析得到离子水的电阻率;完成离子水电阻检测工作后,打开阻水阀4,检测竖管2内的离子通过排液横管1-3排出,由于连接支管6与检测竖管2的连接口高于感应探头5,检测竖管2将会残留部分离子水将感应探头5封于其内,确保本装置在闲置时,杂质不会粘附于感应探头5而影响下次检测的精度;清洗集成电路后的离子水水量较小时,直接流入检测竖管2内,当水量过大时,多余的离子水进入排液竖管1-2,再由排液横管1-3排出,因此本装置适用于不同水量离子水的检测;检测竖管2采用S形弯管,能够降低离子水在检测竖管2内流动速度,使得离子水充入检测竖管2的过程中能够尽量排出其内空气,防止大量气泡滞留检测竖管2内而造成离子水电阻检测不准确。

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